Розробка математичної моделі автоматизованої системи управління нанесення наноструктурованих діелектричніх плівок

Дмитро Валерійович Гурін
Ігор Шакирович Невлюдов

Ключові слова: наноструктуровані діелектричні плівки, критерій оптимальності, керуючі впливи, катодне розпилення, напилення у вакуумі

Анотація

У статті розглянуто розробку математичної моделі автоматизованої систему управління отримання наноструктурованних діелектричних плівок. В ході розробки математичної моделі були визначені оптимальні керуючи впливи, проведено дослідження осадження плівок та вибір критерію оптимальності. Наведені результати розрахунку оптимізації технологічного процесу одержання плівок та схема варіантів оптимального управління, що дозволило розробити математичну модель технологічного процесу осадження наноструктурованних діелектричних плівок.

Завантаження

##plugins.generic.usageStats.noStats##

Посилання

В.Н. Кеменов, С.Б. Нестеров, О.С. Зилова, Е.Н. Капустин. Исследование качества тонкоплёночных покрытий, полученных на установках магнетронного и вакуумногоплазменно-дугового осаждения, с использованием метода СЗМ// Сборник докладов Международного научно-практического симпозиума “Функциональные покрытия на стёклах”. Харьковская Научная Ассамблея, 2003, с.113-117.

Гурин, В.Н. Математические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыления [Текст] / В.Н. Гурин, А.Г. Фирсов, Д.В. Гурин // В сб: Автоматизированные системы управления и проборы автоматики, вып.161, Харьков, 2012. – 136 с.

Жуков, В.В. Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного пучка [Текст] / В.В. Жуков, В.П. Кривобоков, С.Н. Янин. – М: Радио и связь, 2006. – 140 с.

Мікросистемна техніка та нанотехнології: монографія / Невлюдов І.Ш., Палагін В.А. - Киев, НАУ 2017. – 528 c.

Автоматизоване управління технологічним процесом витягування мікроструктурованих оптичних волокон: монографія / Филипенко О.І., Невлюдов І.Ш., Пономарьова Г.В. - Харків: Бурун і К, 2015. – 132 с.

Гурін Д.В. Аналіз методів отримання наноструктурованих діелектричних плівок [Текст] / А.О. Андрусевич, Д.В Гурін, І.Н Малая // В сб: Технология приборосроения, вып 3, Харків 2016 – 7с.