Визначення оптичних констант окисної плівки на поверхні металевих лазерних дзеркал ІЧ діапазону

О. В. Гурин
А. В. Дегтярев
В. А. Маслов
К. И. Мунтян
В. Н. Рябых

Ключові слова: лазерний резонатор, ІЧ діапазон, металеве дзеркало, окісна плівка, багатокутова лазерна еліпсометрія, одношарова модель, товщина плівки

Анотація

Представлені результати експериментального дослідження окисної плівки на поверхні мідних і алюмінієвих дзеркал ІЧ лазерів з різною просторовою поляризацією випромінювання. Вимірювання параметрів плівки виконано фотометричним методом багатокутовой еліпсометрії на довжинах хвиль 0,6328 мкм і 10,6 мкм. Застосована одношарова модель структури, яка відбиває, що дозволило вирішити зворотну задачу еліпсометрії аналітичним шляхом. За допомогою узгодження результатів, отриманих на різних довжинах хвиль, визначено допустимий діапазон зміни оптичних констант окисної плівки. Розрахована фазова товщина окисної плівки і проведена оцінка втрат, що вносяться плівкою в лазерний резонатор.

Завантаження

##plugins.generic.usageStats.noStats##

Посилання

Gurin O.V., Degtyarev A.V., Legenkiy M.N. et al. Generation of transverse modes with azimuthal polarization in a terahertz band waveguide laser. Telecommunications and radio engineering. 2014. Vol. 73. No. 20. P. 1819-1830.

Воронкова Е.М., Гречушников Б.Н., Дистлер Г.И., Петров И.П. Оптические материалы для инфракрасной техники. М.: Наука, 1965. - 336 с.

Ordal M. A., Long L. L., Bell R. J. et al. Optical properties of the metals Al, Co, Cu, Au, Fe, Pb, Ni, Pd, Pt, Ag, Ti, and W in the infrared and far infrared. Applied Optics. 1983.Vol. 22, Issue 7. P. 1099-1119.

Ordal M.A., Bell R.J., Alexander R.W et al. Optical properties of fourteen metals in the infrared and far infrared: Al, Co, Cu, Au, Fe, Pb, Mo, Ni, Pd, Ag, Ti, V and W. Applied Optics. 1985. Vol. 24, No. 24. P. 4493-4499.

Лингарт Ю.К., Петров В.А., Тихонова Н.А. Оптические свойства лейкосапфира при высоких температурах. I. Область полупрозрачности. Теплофизика высоких температур. 1982. Т. 20. № 5. С. 872-880.

Битюков В.К., Петров В.А., Смирнов И.В. Влияние величины коэффициента теплопроводности расплава на температурные поля в оксиде алюминия при его нагреве концентрированным лазерным излучением. Теплофизика высоких температур. 2015. Т. 53. № 1. С. 29-38.

Рогалин В.Е., Каплунов И.А., Ценина И.С. и др. Оптические свойства сапфира в области непрозрачности. Оптика и спектроскопия, 2016, т. 120, № 6, С. 952–955.

Azzam R.M.A., Bashara N.M. Ellipsometry and polarized light. Nebraska, Engineering Center, Lincoln, 1976. - 532 p.

М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики. М.: Наука, 1973. - 856 с.

Ржанов А.В., Свиташев К.К., Семененко А.И. и др. Основы эллипсометрии. Новосибирск.: Наука. 1979. - 424 с.

Звіт № 811Н/18-17, Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Харків, 2017.

Ищенко Е.Ф., Соколов А.Л. Поляризационная оптика. М.: Изд. МЭИ, 2005, - 336 с.

Palik E.D. Handbook of Optical Constants of Solids II // Academic Press, 1998. - 1096 p.

Магунов А.Н. Спектральная пирометрия. - М.: ФИЗМАТЛИТ, 2012. - 248 с.

Weber M. J. Handbook of optical materials. CRC Press, 2002. - 536 р.

Лингарт Ю.К., Петров В.А., Тихонова Н.А. Оптические свойства лейкосапфира при высоких температурах. II. Свойства монокристалла в области непрозрачности и свойства расплава. Теплофизика высоких температур. 1982. Т. 20. № 6. С. 1085-1092.

Бункин Ф.В., Кириченко Н.А., Лукъянчук Б.С. Термохимическое действие лазерного излучения. Успехи физических наук. 1982. Т. 138. Вып. 1. С. 45-94.

Хауффе К. Реакции в твердых телах и на их поверхности. - М.: Иностр. лит-ра. 1962. – 415 с.