Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір
Ключові слова:
алмазні покриття, легування азотом, наноструктура, питомий опір, склад газової фази
Анотація
Наведено експериментальні результати впливу складу газової фази при синтезі легованих азотом наноструктурних алмазних покриттів у плазмі тліючого розряду на їхній питомий опір. Показано, що за рахунок зміни складу газової фази питомий опір наноструктурных алмазних покриттів можна змінювати по величині більш ніж на 3 порядки.
алмазні покриття; легування азотом; наноструктура; питомий опір; склад газової фази
Завантаження
##plugins.generic.usageStats.noStats##
Посилання
Williams O.A. Nanocrystalline diamond//Diamond&Related Materials. − 2011. − Vol. 20. − P. 621-640.
Orlando Auciello, Anirudha V. Sumant. Status review of the science and technology of ulnrananocrystalline diamond (UNCD™) films and application to multifunctional devices//Diamond&Related Materials. − 2010. − Vol. 19. − P. 699-718.
Williams O.A., Nesladek M., Daenen M., Michaelson S., Hoffman A., Osawa E., Haenen K., Jackman R.B. Growth, electronic properties and applications of nanodiamond//Diamond and Related Materials. − 2008. − Vol. 17. − P. 1080-1088.
Williams O.A., Curat S., Gerbi J.E., Gruen D.M., Jackman R.B. N-type conductivity in ultrananocrystalline diamond films//Appl. Phys. Lett. − 2001. − Vol. 85. P. 1680-1682.
Gruen D.M. Nanocrystalline diamond films// Annu. Rev. Mater. Sci. − 1999. − Vol. 29. − P. 211-259.
Lin T., Yu G.Y., Wee A.T.S., Shen Kian Ping Loh Z.X. Compositional mapping of the argonmethane-hydrogen system for polycrystalline to nanocrystalline diamond film growth in a hotfilament chemical vapor deposition system//Appl. Phys. Lett. − 2000. − Vol. 77. − P. 2692-2694.
Bhattacharyya S., Auciello O., Birrell J., Carlisle J.A., Goyette A.N., Gruen D.M., Krauss A.R., Schlueter J., Sumant A., Zapol P. Synthesis and characterization of higly-conducting nitrogendoped ultrananocrystalline diamond films//Appl. Phys. Lett. − 2001. − Vol. 79. − P. 1441-1443.
Ralchenko V., Pimenov S., Konov V., Khomich A., Saveliev A., Popovich A., Vlasov I., Zavedeev E., Bozhko A., Loubnin E., Khmelnitskii R. Nitrogenated nanocrystalline diamond films: Thermal and optical properties//Diamond and Related Materials. − 2007. − Vol. 16. − P. 2067-2073.
Выровец И.И., Грицына В.И., Дудник С.Ф., Опалев О.А., Решетняк О.М., Стрельницкий В.Е. Влияние состава газовой фазы на морфологию алмазных пленок, получаемых при возбуждении плазмы в скрещенных Е/Н полях//Материалы 21 Междунар. симпоз. “Тонкие пленки в электронике” (Москва), ОАО “ЦНИТИ ТЕХНОМАШ” − 2008. − C. 377-382.
Василенко Р .Л., Воеводин В.Н., Грицына В.И., Дудник С.Ф., Кошевой К.И., Опалев О.А., Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е. Влияние азота на структуру нанокристаллических алмазных покрытий, получаемых в плазме тлеющего разряда//Матеріали 5 Міжнар. наук. конф. “Фізико-хімічні основи формування і модифікації мікро- та наноструктур”. T. 1. (Харків). − 2011. − С. 135-139.
Грицына В.И., Дудник С.Ф., Кошевой К.И., Опалев О.А., Стрельницкий В.Е. Влияние состава газовой фазы и тока тлеющего разряда на кинетику роста легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий//Физическая инженерия поверхности. − 2012. − Т. 10, № 4. − С. 308-315.
Ковтонюк Н.Ф., Концевой Ю.А. Измерения параметров полупроводниковых материалов. − М.: Металлургия, 1970. − 432 с.
Левин А.И. Теоретические основы электрохимии. − М.: Металлургия, 1972. − 544 с.
Ma K.L., Zhang W.J., Zou Y.S., Chong, Leung K.M., Bello I., Lee S.T. Electrical properties of nitrogen incorporated nanocrystalline diamond films//Diamond&Related Materials. − 2006. − Vol. 15. − P. 626-630.
Teii K., Ikeda T. Conductive and resistive nanocrystalline diamond films studied by Raman spectroscopy// Diamond&Related Materials. − 2007. − Vol. 16. − P. 753-756
Orlando Auciello, Anirudha V. Sumant. Status review of the science and technology of ulnrananocrystalline diamond (UNCD™) films and application to multifunctional devices//Diamond&Related Materials. − 2010. − Vol. 19. − P. 699-718.
Williams O.A., Nesladek M., Daenen M., Michaelson S., Hoffman A., Osawa E., Haenen K., Jackman R.B. Growth, electronic properties and applications of nanodiamond//Diamond and Related Materials. − 2008. − Vol. 17. − P. 1080-1088.
Williams O.A., Curat S., Gerbi J.E., Gruen D.M., Jackman R.B. N-type conductivity in ultrananocrystalline diamond films//Appl. Phys. Lett. − 2001. − Vol. 85. P. 1680-1682.
Gruen D.M. Nanocrystalline diamond films// Annu. Rev. Mater. Sci. − 1999. − Vol. 29. − P. 211-259.
Lin T., Yu G.Y., Wee A.T.S., Shen Kian Ping Loh Z.X. Compositional mapping of the argonmethane-hydrogen system for polycrystalline to nanocrystalline diamond film growth in a hotfilament chemical vapor deposition system//Appl. Phys. Lett. − 2000. − Vol. 77. − P. 2692-2694.
Bhattacharyya S., Auciello O., Birrell J., Carlisle J.A., Goyette A.N., Gruen D.M., Krauss A.R., Schlueter J., Sumant A., Zapol P. Synthesis and characterization of higly-conducting nitrogendoped ultrananocrystalline diamond films//Appl. Phys. Lett. − 2001. − Vol. 79. − P. 1441-1443.
Ralchenko V., Pimenov S., Konov V., Khomich A., Saveliev A., Popovich A., Vlasov I., Zavedeev E., Bozhko A., Loubnin E., Khmelnitskii R. Nitrogenated nanocrystalline diamond films: Thermal and optical properties//Diamond and Related Materials. − 2007. − Vol. 16. − P. 2067-2073.
Выровец И.И., Грицына В.И., Дудник С.Ф., Опалев О.А., Решетняк О.М., Стрельницкий В.Е. Влияние состава газовой фазы на морфологию алмазных пленок, получаемых при возбуждении плазмы в скрещенных Е/Н полях//Материалы 21 Междунар. симпоз. “Тонкие пленки в электронике” (Москва), ОАО “ЦНИТИ ТЕХНОМАШ” − 2008. − C. 377-382.
Василенко Р .Л., Воеводин В.Н., Грицына В.И., Дудник С.Ф., Кошевой К.И., Опалев О.А., Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е. Влияние азота на структуру нанокристаллических алмазных покрытий, получаемых в плазме тлеющего разряда//Матеріали 5 Міжнар. наук. конф. “Фізико-хімічні основи формування і модифікації мікро- та наноструктур”. T. 1. (Харків). − 2011. − С. 135-139.
Грицына В.И., Дудник С.Ф., Кошевой К.И., Опалев О.А., Стрельницкий В.Е. Влияние состава газовой фазы и тока тлеющего разряда на кинетику роста легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий//Физическая инженерия поверхности. − 2012. − Т. 10, № 4. − С. 308-315.
Ковтонюк Н.Ф., Концевой Ю.А. Измерения параметров полупроводниковых материалов. − М.: Металлургия, 1970. − 432 с.
Левин А.И. Теоретические основы электрохимии. − М.: Металлургия, 1972. − 544 с.
Ma K.L., Zhang W.J., Zou Y.S., Chong, Leung K.M., Bello I., Lee S.T. Electrical properties of nitrogen incorporated nanocrystalline diamond films//Diamond&Related Materials. − 2006. − Vol. 15. − P. 626-630.
Teii K., Ikeda T. Conductive and resistive nanocrystalline diamond films studied by Raman spectroscopy// Diamond&Related Materials. − 2007. − Vol. 16. − P. 753-756
Опубліковано
2017-07-28
Як цитувати
Грицына, В. И., Дудник, С. Ф., Кошевой, К. И., Опалев, О. А., Решетняк, Е. Н., & Стрельницкий, В. Е. (2017). Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(4), 338 - 344. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8861
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
