Тематичні напрямки

фізика поверхні - модифікації, покриття, плівки, приповерхневі та перехідні шари різного типу, внаслідок дії плазми, корпускулярно-фотонних потоків та випромінювання;

взаємодія різних типів випромінювання з металевими поверхнями, напівпровідниками, діелектриками;

фізика та технологія низькотемпературної плазми;

фізика та технологія лазерів;

фізичні властивості плівок і покриттів;

фізико-технічні аспекти сучасних технологій обробки поверхні, діагностика та контроль технологічних процесів;

мікро- та нанотехнології;

мікро- та наноелектроніка.

Політика відкритого доступу

Цей журнал практикує політику негайного відкритого доступу до опублікованого змісту, підтримуючи принципи вільного поширення наукової інформації та глобального обміну знаннями задля загального суспільного прогресу.

Історія журналу

Журнал видається з 2003 року щоквартально.