Перегляд Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір

Повернутися до інформації про статтю Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір Завантажити Завантажити PDF