Effect of gas phase in the synthesis of nanostructured diamond coatings on their resistivity
Keywords:
diamond coatings, nitrogen doped, nanostructure, specific resistance, gas phase composition
Abstract
Experimental results of study of influence of gas phase composition on nitrogen-doped nanostructured diamond coatings synthesized in glow discharge plasma on their specific resistance have been discussed. It was shown, that due to change of gas phase composition the specific resistance of nanostructured diamond coatings can be changed by its value more than to 3 orders.
Downloads
Download data is not yet available.
References
Williams O.A. Nanocrystalline diamond//Diamond&Related Materials. − 2011. − Vol. 20. − P. 621-640.
Orlando Auciello, Anirudha V. Sumant. Status review of the science and technology of ulnrananocrystalline diamond (UNCD™) films and application to multifunctional devices//Diamond&Related Materials. − 2010. − Vol. 19. − P. 699-718.
Williams O.A., Nesladek M., Daenen M., Michaelson S., Hoffman A., Osawa E., Haenen K., Jackman R.B. Growth, electronic properties and applications of nanodiamond//Diamond and Related Materials. − 2008. − Vol. 17. − P. 1080-1088.
Williams O.A., Curat S., Gerbi J.E., Gruen D.M., Jackman R.B. N-type conductivity in ultrananocrystalline diamond films//Appl. Phys. Lett. − 2001. − Vol. 85. P. 1680-1682.
Gruen D.M. Nanocrystalline diamond films// Annu. Rev. Mater. Sci. − 1999. − Vol. 29. − P. 211-259.
Lin T., Yu G.Y., Wee A.T.S., Shen Kian Ping Loh Z.X. Compositional mapping of the argonmethane-hydrogen system for polycrystalline to nanocrystalline diamond film growth in a hotfilament chemical vapor deposition system//Appl. Phys. Lett. − 2000. − Vol. 77. − P. 2692-2694.
Bhattacharyya S., Auciello O., Birrell J., Carlisle J.A., Goyette A.N., Gruen D.M., Krauss A.R., Schlueter J., Sumant A., Zapol P. Synthesis and characterization of higly-conducting nitrogendoped ultrananocrystalline diamond films//Appl. Phys. Lett. − 2001. − Vol. 79. − P. 1441-1443.
Ralchenko V., Pimenov S., Konov V., Khomich A., Saveliev A., Popovich A., Vlasov I., Zavedeev E., Bozhko A., Loubnin E., Khmelnitskii R. Nitrogenated nanocrystalline diamond films: Thermal and optical properties//Diamond and Related Materials. − 2007. − Vol. 16. − P. 2067-2073.
Выровец И.И., Грицына В.И., Дудник С.Ф., Опалев О.А., Решетняк О.М., Стрельницкий В.Е. Влияние состава газовой фазы на морфологию алмазных пленок, получаемых при возбуждении плазмы в скрещенных Е/Н полях//Материалы 21 Междунар. симпоз. “Тонкие пленки в электронике” (Москва), ОАО “ЦНИТИ ТЕХНОМАШ” − 2008. − C. 377-382.
Василенко Р .Л., Воеводин В.Н., Грицына В.И., Дудник С.Ф., Кошевой К.И., Опалев О.А., Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е. Влияние азота на структуру нанокристаллических алмазных покрытий, получаемых в плазме тлеющего разряда//Матеріали 5 Міжнар. наук. конф. “Фізико-хімічні основи формування і модифікації мікро- та наноструктур”. T. 1. (Харків). − 2011. − С. 135-139.
Грицына В.И., Дудник С.Ф., Кошевой К.И., Опалев О.А., Стрельницкий В.Е. Влияние состава газовой фазы и тока тлеющего разряда на кинетику роста легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий//Физическая инженерия поверхности. − 2012. − Т. 10, № 4. − С. 308-315.
Ковтонюк Н.Ф., Концевой Ю.А. Измерения параметров полупроводниковых материалов. − М.: Металлургия, 1970. − 432 с.
Левин А.И. Теоретические основы электрохимии. − М.: Металлургия, 1972. − 544 с.
Ma K.L., Zhang W.J., Zou Y.S., Chong, Leung K.M., Bello I., Lee S.T. Electrical properties of nitrogen incorporated nanocrystalline diamond films//Diamond&Related Materials. − 2006. − Vol. 15. − P. 626-630.
Teii K., Ikeda T. Conductive and resistive nanocrystalline diamond films studied by Raman spectroscopy// Diamond&Related Materials. − 2007. − Vol. 16. − P. 753-756
Orlando Auciello, Anirudha V. Sumant. Status review of the science and technology of ulnrananocrystalline diamond (UNCD™) films and application to multifunctional devices//Diamond&Related Materials. − 2010. − Vol. 19. − P. 699-718.
Williams O.A., Nesladek M., Daenen M., Michaelson S., Hoffman A., Osawa E., Haenen K., Jackman R.B. Growth, electronic properties and applications of nanodiamond//Diamond and Related Materials. − 2008. − Vol. 17. − P. 1080-1088.
Williams O.A., Curat S., Gerbi J.E., Gruen D.M., Jackman R.B. N-type conductivity in ultrananocrystalline diamond films//Appl. Phys. Lett. − 2001. − Vol. 85. P. 1680-1682.
Gruen D.M. Nanocrystalline diamond films// Annu. Rev. Mater. Sci. − 1999. − Vol. 29. − P. 211-259.
Lin T., Yu G.Y., Wee A.T.S., Shen Kian Ping Loh Z.X. Compositional mapping of the argonmethane-hydrogen system for polycrystalline to nanocrystalline diamond film growth in a hotfilament chemical vapor deposition system//Appl. Phys. Lett. − 2000. − Vol. 77. − P. 2692-2694.
Bhattacharyya S., Auciello O., Birrell J., Carlisle J.A., Goyette A.N., Gruen D.M., Krauss A.R., Schlueter J., Sumant A., Zapol P. Synthesis and characterization of higly-conducting nitrogendoped ultrananocrystalline diamond films//Appl. Phys. Lett. − 2001. − Vol. 79. − P. 1441-1443.
Ralchenko V., Pimenov S., Konov V., Khomich A., Saveliev A., Popovich A., Vlasov I., Zavedeev E., Bozhko A., Loubnin E., Khmelnitskii R. Nitrogenated nanocrystalline diamond films: Thermal and optical properties//Diamond and Related Materials. − 2007. − Vol. 16. − P. 2067-2073.
Выровец И.И., Грицына В.И., Дудник С.Ф., Опалев О.А., Решетняк О.М., Стрельницкий В.Е. Влияние состава газовой фазы на морфологию алмазных пленок, получаемых при возбуждении плазмы в скрещенных Е/Н полях//Материалы 21 Междунар. симпоз. “Тонкие пленки в электронике” (Москва), ОАО “ЦНИТИ ТЕХНОМАШ” − 2008. − C. 377-382.
Василенко Р .Л., Воеводин В.Н., Грицына В.И., Дудник С.Ф., Кошевой К.И., Опалев О.А., Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е. Влияние азота на структуру нанокристаллических алмазных покрытий, получаемых в плазме тлеющего разряда//Матеріали 5 Міжнар. наук. конф. “Фізико-хімічні основи формування і модифікації мікро- та наноструктур”. T. 1. (Харків). − 2011. − С. 135-139.
Грицына В.И., Дудник С.Ф., Кошевой К.И., Опалев О.А., Стрельницкий В.Е. Влияние состава газовой фазы и тока тлеющего разряда на кинетику роста легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий//Физическая инженерия поверхности. − 2012. − Т. 10, № 4. − С. 308-315.
Ковтонюк Н.Ф., Концевой Ю.А. Измерения параметров полупроводниковых материалов. − М.: Металлургия, 1970. − 432 с.
Левин А.И. Теоретические основы электрохимии. − М.: Металлургия, 1972. − 544 с.
Ma K.L., Zhang W.J., Zou Y.S., Chong, Leung K.M., Bello I., Lee S.T. Electrical properties of nitrogen incorporated nanocrystalline diamond films//Diamond&Related Materials. − 2006. − Vol. 15. − P. 626-630.
Teii K., Ikeda T. Conductive and resistive nanocrystalline diamond films studied by Raman spectroscopy// Diamond&Related Materials. − 2007. − Vol. 16. − P. 753-756
Published
2017-07-28
How to Cite
Грицына, В. И., Дудник, С. Ф., Кошевой, К. И., Опалев, О. А., Решетняк, Е. Н., & Стрельницкий, В. Е. (2017). Effect of gas phase in the synthesis of nanostructured diamond coatings on their resistivity. Journal of Surface Physics and Engineering, 11(4), 338 - 344. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8861
Section
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
