Synthesis of high-quality diamond coatings by methods of activated chemical vapor deposition

Authors

  • В. И. Грицына Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
  • С. Ф. Дудник Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
  • К. И. Кошевой Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
  • О. А. Опалев Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
  • В. Е. Стрельницкий Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

Keywords:

diamond coatings, chemical vapor deposition, the coating growth rate, defect structure of coatings

Abstract

Literature review of some features and common mechanism of processes of diamond coatings synthesis by a chemical vapor deposition have been presented. Theoretical and experimental results of study of high-quality diamond coatings synthesis with high deposition growth rates have been given. On the basis of the analysis of the given data the most perspective directions of further developments of technology of industrial production of high-quality diamond materials are determined.

 

 

Author Biographies

  • В. И. Грицына, Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
    с.н.с.
  • С. Ф. Дудник, Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
    с.н.с.
  • К. И. Кошевой, Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
    с.н.с.
  • О. А. Опалев, Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
    с.н.с.
  • В. Е. Стрельницкий, Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
    с.н.с.

Downloads

Published

2017-07-28

Issue

Vol. 11 No. 1 (2013): Фізична інженерія поверхні

Section

Статті

License

У відповідності з типовим шаблоном.

How to Cite

Synthesis of high-quality diamond coatings by methods of activated chemical vapor deposition. (2017). Journal of Surface Physics and Engineering, 11(1), 63-77. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8786

Most read articles by the same author(s)