Морфологія поверхні та шорсткість тонких плівок ZnO, легованих сіркою: аналіз на основі атомно-силової мікроскопії

  • Акрамджон Й. Бобоєв Андижанський державний університет імені З.М. Бабура, Андижан, Узбекистан https://orcid.org/0000-0002-3963-708X
  • Нурітдін Й. Юнусалієв Андижанський державний університет імені З.М. Бабура, Андижан, Узбекистан https://orcid.org/0000-0003-3766-5420
  • Хушрой А. Махмудов Андижанська філія Кокандського університету, Андижан, Узбекистан https://orcid.org/0009-0004-8845-8741
  • Файзулох А. Абдулхаєв Андижанський державний університет імені З.М. Бабура, Андижан, Узбекистан https://orcid.org/0009-0004-3933-5171
  • Гайбулло Г. Тоджибоєв Андижанський державний університет імені З.М. Бабура, Андижан, Узбекистан https://orcid.org/0009-0000-5022-8108
  • Мохлароїм О. Гофурджонова Андижанський державний університет імені З.М. Бабура, Андижан, Узбекистан https://orcid.org/0009-0009-8830-9371
Ключові слова: морфологія, гістограма, атомно-силова мікроскопія, шорсткість, легування, сірка

Анотація

Морфологію поверхні нелегованого ZnO, а також тонких плівок ZnO (ZnO:S), легованого 3 ат.% сіркою, досліджували за допомогою атомно-силової мікроскопії (АСМ). Оцінку та порівняння характеристик поверхні проводили на основі 2D та 3D АСМ-зображень, аналізу профілю ліній та параметрів шорсткості; Ra, Rq, Rz, Rt Rsk та Rku. Нелеговане середовище ZnO мало гладку поверхню з помірними коливаннями висоти та порівняно вузькою гаусівською висотою. З іншого боку, плівка ZnO:S показала значно вищу шорсткість поверхні та топографічне чергування з більшими та симетричнішими гістограмами висоти. Обидва співвідношення Rq/Ra починалися приблизно з теоретичного гаусівського значення (~1,25), причому параметри асиметрії та ексцесу демонстрували чітко різні ступені симетрії поверхні та текстури. Було показано, що введення сірки змінює морфологію зерен, вводить контраст між піками та западинами та збільшує загальну площу поверхні. Морфологічні покращення також показують, що тонкі плівки ZnO:S можуть бути більш адекватними для застосувань, де важлива висока поверхнева активність, що забезпечується газовим зондуванням та каталізом. Це дослідження дає кількісну та якісну оцінку впливу легування сіркою на морфологію поверхні ZnO на нанорівні.

Завантаження

##plugins.generic.usageStats.noStats##

Посилання

Z. Zhang, Y. Chen, H. Liu, et al., Sens. Actuators B Chem. 344, 130218 (2021). https://doi.org/10.1016/j.snb.2021.130218

R. Kumar, and O. Al-Dossary, J. Mater. Sci. Mater. Electron. 33, 927 (2022). https://doi.org/10.1007/s10854-021-07491-8

X. Chen, H. Yu, J. Sun, et al., Catal. Sci. Technol. 13, 734 (2023). https://doi.org/10.1039/D2CY01807D

M. Hasanpour, S. Hatamie, and H. Zare, Appl. Surf. Sci. Adv. 2, 100025 (2020). https://doi.org/10.1016/j.apsadv.2020.100025

D. Sharma, K.M. Batoo, and S. Singh, Mater. Sci. Semicond. Process. 151, 106986 (2022). https://doi.org/10.1016/j.mssp.2022.106986

P. Eaton, and P. West, Atomic Force Microscopy, (Oxford University Press, 2020).

S. Moreno-Flores, Prog. Mater. Sci. 120, 100816 (2021). https://doi.org/10.1016/j.pmatsci.2021.100816

A. Wei, Y. Huang, Y. Wang, et al., Thin Solid Films 713, 138341 (2020). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2020.138341

H. Hamrouni, H. Saidi, and A. Bouzidi, Mater. Today Commun. 26, 102019 (2021). https://doi.org/10.1016/j.mtcomm.2020.102019

R. Mohan, and V. Krishnakumar, J. Mater. Sci. Mater. Electron. 32, 14053 (2021). https://doi.org/10.1007/s10854-021-06044-9

C. Jayachandraiah, V. Sreenivasulu, and M. Sundararajan, Optik 219, 165051 (2020). https://doi.org/10.1016/j.ijleo.2020.165051

H. J. Kim, S. Y. Kim, and J. H. Lee, Sens. Actuators B Chem. 307, 127675 (2020). https://doi.org/10.1016/j.snb.2019.127675

Y. Liu, X. Wang, and M. Zhang, J. Alloys Compd. 867, 158986 (2021). https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2021.158986

S. Zainabidinov, A.Y. Boboev, and N.Y. Yunusaliyev, East Eur. J. Phys. (2), 321 (2024). https://doi.org/10.26565/2312-4334-2024-2-37

S. Zainabidinov, Sh.Kh. Yulchiev, A.Y. Boboev, et al., East Eur. J. Phys. (3), 282 (2024). https://doi.org/10.26565/2312-4334-2024-3-28

S. Z. Zaynabidinov, ShU Yuldashev, A. Y. Boboev, and N. Y. Yunusaliyev, Her. Bauman Moscow State Tech. Univ. Ser. Nat. Sci. 1, 78 (2024).

S.Z. Zainabidinov, A.Y. Boboev, N.Y. Yunusaliyev, and J.N. Usmonov, East Eur. J. Phys. (3), 293 (2024). https://doi.org/10.26565/2312-4334-2024-3-30

M.K. Karimov, U.O. Kutliev, S.B. Bobojonova, and K.U. Otabaeva. Physics and Chemistry of Solid State, 22(4), 742 (2021). https://doi.org/10.15330/pcss.22.4.742-745

M. Nosonovsky, and B. Bhushan, J. Appl. Phys. 105, 104303 (2009). https://doi.org/10.1063/1.3130404

Опубліковано
2025-09-08
Цитовано
Як цитувати
Бобоєв, А. Й., Юнусалієв, Н. Й., Махмудов, Х. А., Абдулхаєв, Ф. А., Тоджибоєв, Г. Г., & Гофурджонова, М. О. (2025). Морфологія поверхні та шорсткість тонких плівок ZnO, легованих сіркою: аналіз на основі атомно-силової мікроскопії. Східно-європейський фізичний журнал, (3), 319-324. https://doi.org/10.26565/2312-4334-2025-3-30

Найбільш популярні статті цього автора (авторів)