Особливості використання рентгенівського флуоресцентного аналізу для визначення складу вакуумно-дугових покриттів нітридів
Ключові слова:
рентгенофлуоресцентний аналіз, характеристичне випромінювання, коефіцієнт поглинання, вакуумно-дугові покриття, елементний склад
Анотація
Розглянуто особливості застосування методу рентгенофлуоресцентного аналізу (РФА) для дослідження хімічного складу тонких покриттів багатокомпонентних нітридів. Показано, що розрахунок концентрації методом фундаментальних параметрів для товстих покриттів (10 мкм) досить точно дозволяє оцінювати співвідношення металевих компонентів. Використання такого розрахунку при аналізі тонких шарів у ряді випадків призводить до суттєвих помилок. Запропоновано спосіб введення поправки вагової концентрації на товщину покриття, яка дозволяє підвищити точність визначення складу. Представлені результати експериментів по визначенню елементного складу покриттів (Ti, Al) N методом РФА на спектрометрі “Спрут-ВМ”.
Завантаження
##plugins.generic.usageStats.noStats##
Посилання
Рентгенофлуоресцентный анализ. Применение в заводских лабораториях/Под. ред. Эрхардта Х. – М.: Металлургия, 1985. – 256 с.
Афонин В.П., Комяк Н.И., Николаев В.П., Плотников, Р.И. Рентгенофлуоресцентный анализ. – Новосибирск: Наука, 1991. – 173 с.
Лосев Н.Ф. Количественный рентгеноспектральный флуоресцентный анализ. – М.: Наука, 1969. – 336 с.
Аксенов И.И., Андреев А.А., Белоус В.А., Стрельницкий В.Е., Хороших В.М. Вакуумная дуга. Источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование. – К.: Наукова думка, 2012. – 726 с.
Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий// Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. – 2008. – № 2 (92). – С. 119-130.
Игнатова Ю.А., Еритенко А.Н., Ревенко А.Г., Цветянский А.Л. Рентгенофлуоресцентный анализ твердотельных пленок и покрытий// Аналитика и контроль. – 2011. – Т. 15, № 2. – С.126-140.
Михайлов И.Ф., Батурин А.А. Модифицированная рентгенооптическая схема БрэггаСоллера для сканирующего спектрометра// Вісник СумДУ. – 2007. – № 2. – С. 27-32.
Mikhailov I.F., Reshetnyak M.V., Fomina L.P. Effective thickness determination of nickel and niobium film from X-ray fluorescence intensity// Functional materials. – 1999. – Vol. 6, № 5. – P. 980-981.
Миркин Л.И. Рентгеноструктурный контроль Машиностроительных материалов: Справочник. – М.: Машиностроение, 1979. – 863 с.
Афонин В.П., Комяк Н.И., Николаев В.П., Плотников, Р.И. Рентгенофлуоресцентный анализ. – Новосибирск: Наука, 1991. – 173 с.
Лосев Н.Ф. Количественный рентгеноспектральный флуоресцентный анализ. – М.: Наука, 1969. – 336 с.
Аксенов И.И., Андреев А.А., Белоус В.А., Стрельницкий В.Е., Хороших В.М. Вакуумная дуга. Источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование. – К.: Наукова думка, 2012. – 726 с.
Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий// Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. – 2008. – № 2 (92). – С. 119-130.
Игнатова Ю.А., Еритенко А.Н., Ревенко А.Г., Цветянский А.Л. Рентгенофлуоресцентный анализ твердотельных пленок и покрытий// Аналитика и контроль. – 2011. – Т. 15, № 2. – С.126-140.
Михайлов И.Ф., Батурин А.А. Модифицированная рентгенооптическая схема БрэггаСоллера для сканирующего спектрометра// Вісник СумДУ. – 2007. – № 2. – С. 27-32.
Mikhailov I.F., Reshetnyak M.V., Fomina L.P. Effective thickness determination of nickel and niobium film from X-ray fluorescence intensity// Functional materials. – 1999. – Vol. 6, № 5. – P. 980-981.
Миркин Л.И. Рентгеноструктурный контроль Машиностроительных материалов: Справочник. – М.: Машиностроение, 1979. – 863 с.
Опубліковано
2017-07-28
Як цитувати
Решетняк, Е. Н. (2017). Особливості використання рентгенівського флуоресцентного аналізу для визначення складу вакуумно-дугових покриттів нітридів. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(4), 318 - 325. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8859
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
