Features of using the x-ray fluorescence analysis for determine the composition of vacuum-arc nitride coatings
Keywords:
X-ray fluorescence analysis, characteristic radiation, absorption coefficient, vacuum-arc coating, elemental composition
Abstract
Features of the application of X-ray fluorescence (XRF) method to the study the chemical composition of thin multi-component nitride coatings are discussed. It was shown that the calculation of the concentration for thick coatings (∼10 µm) using the fundamental parameter method allows to estimate the ratio of metal components accurately. Using such a calculation for the analysis of thin layers in some cases leads to significant errors. Method of correcting the mass concentration on the thickness of the coating has been proposed to improve the accuracy of determining the composition. Results of experiments to determine the elemental composition of thin coatings (Ti, Al)N by XRF spectrometer “SprutVM” are given.
Downloads
Download data is not yet available.
References
Рентгенофлуоресцентный анализ. Применение в заводских лабораториях/Под. ред. Эрхардта Х. – М.: Металлургия, 1985. – 256 с.
Афонин В.П., Комяк Н.И., Николаев В.П., Плотников, Р.И. Рентгенофлуоресцентный анализ. – Новосибирск: Наука, 1991. – 173 с.
Лосев Н.Ф. Количественный рентгеноспектральный флуоресцентный анализ. – М.: Наука, 1969. – 336 с.
Аксенов И.И., Андреев А.А., Белоус В.А., Стрельницкий В.Е., Хороших В.М. Вакуумная дуга. Источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование. – К.: Наукова думка, 2012. – 726 с.
Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий// Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. – 2008. – № 2 (92). – С. 119-130.
Игнатова Ю.А., Еритенко А.Н., Ревенко А.Г., Цветянский А.Л. Рентгенофлуоресцентный анализ твердотельных пленок и покрытий// Аналитика и контроль. – 2011. – Т. 15, № 2. – С.126-140.
Михайлов И.Ф., Батурин А.А. Модифицированная рентгенооптическая схема БрэггаСоллера для сканирующего спектрометра// Вісник СумДУ. – 2007. – № 2. – С. 27-32.
Mikhailov I.F., Reshetnyak M.V., Fomina L.P. Effective thickness determination of nickel and niobium film from X-ray fluorescence intensity// Functional materials. – 1999. – Vol. 6, № 5. – P. 980-981.
Миркин Л.И. Рентгеноструктурный контроль Машиностроительных материалов: Справочник. – М.: Машиностроение, 1979. – 863 с.
Афонин В.П., Комяк Н.И., Николаев В.П., Плотников, Р.И. Рентгенофлуоресцентный анализ. – Новосибирск: Наука, 1991. – 173 с.
Лосев Н.Ф. Количественный рентгеноспектральный флуоресцентный анализ. – М.: Наука, 1969. – 336 с.
Аксенов И.И., Андреев А.А., Белоус В.А., Стрельницкий В.Е., Хороших В.М. Вакуумная дуга. Источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование. – К.: Наукова думка, 2012. – 726 с.
Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий// Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. – 2008. – № 2 (92). – С. 119-130.
Игнатова Ю.А., Еритенко А.Н., Ревенко А.Г., Цветянский А.Л. Рентгенофлуоресцентный анализ твердотельных пленок и покрытий// Аналитика и контроль. – 2011. – Т. 15, № 2. – С.126-140.
Михайлов И.Ф., Батурин А.А. Модифицированная рентгенооптическая схема БрэггаСоллера для сканирующего спектрометра// Вісник СумДУ. – 2007. – № 2. – С. 27-32.
Mikhailov I.F., Reshetnyak M.V., Fomina L.P. Effective thickness determination of nickel and niobium film from X-ray fluorescence intensity// Functional materials. – 1999. – Vol. 6, № 5. – P. 980-981.
Миркин Л.И. Рентгеноструктурный контроль Машиностроительных материалов: Справочник. – М.: Машиностроение, 1979. – 863 с.
Published
2017-07-28
How to Cite
Решетняк, Е. Н. (2017). Features of using the x-ray fluorescence analysis for determine the composition of vacuum-arc nitride coatings. Journal of Surface Physics and Engineering, 11(4), 318 - 325. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8859
Section
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
