Аналіз складу іонного пучка InSb та InSb0,98Bi0,02, отриманого з використанням рідких металів

  • Ф.Е. Мамедов Інститут фізики Міністерства освіти і науки Республіки Азербайджан, Баку, Азербайджан
  • С.А. Алієв Інститут фізики Міністерства освіти і науки Республіки Азербайджан, Баку, Азербайджан
  • І.І. Гурбанов Інститут фізики Міністерства освіти і науки Республіки Азербайджан, Баку, Азербайджан https://orcid.org/0009-0002-8054-4376
  • Ш.О. Емінов Інститут фізики Міністерства освіти і науки Республіки Азербайджан, Баку, Азербайджан https://orcid.org/0000-0002-4589-0452
  • А.Дж. Халілов Інститут фізики Міністерства освіти і науки Республіки Азербайджан, Баку, Азербайджан
  • Е.М. Акберов Інститут фізики Міністерства освіти і науки Республіки Азербайджан, Баку, Азербайджан https://orcid.org/0009-0009-7625-5724
  • А.А. Бадалов Інститут фізики Міністерства освіти і науки Республіки Азербайджан, Баку, Азербайджан
Ключові слова: рідкометалеві іонні джерела, LMIS, гострий емітер, іонний пучок, масовий аналіз, InSb, InSbBi

Анотація

Для дослідження масового складу пучка іонів, отриманого за допомогою польової іонної емісії, використовувався мас-аналізатор, розроблений аналогічно фільтру швидкості Віна. Цей аналізатор фільтра Wien працює на основі принципу перетинання взаємно перпендикулярних електричного та магнітного полів (E×B) для класифікації заряджених частинок відповідно до їх маси та заряду. Іонний пучок отримано з використанням робочих матеріалів mInSb та InSb0,98Bi0,02. Цим методом аналізували масовий склад іонної групи. В експериментах було виявлено, що іонний пучок, отриманий з використанням InSb як робочої речовини, має однорідний склад, що складається виключно з іонів (InSb)+. Однак, на відміну від цього, коли робочою речовиною був (InSb)0,98Bi0,02, було визначено, що іонний пучок має різний склад. Крім іонів (InSb)+, було виявлено, що пучок іонів містить іони ((InSb)0,98Bi0,02)+ і (Bi)+.

Завантаження

Біографія автора

Ф.Е. Мамедов, Інститут фізики Міністерства освіти і науки Республіки Азербайджан, Баку, Азербайджан

+994556332043

Посилання

P.A. Mazharov, V.G. Dudnikov, and A.B. Tolstoguzov, “Electrohydrodynamic emitters of ion beams” UFN, 190, 1293 (2020). https://doi.org/10.3367/UFNr.2020.09.038845

C. Cruz, K. Paurezzaci, and A. Wagner, “Ion cluster emission and deposition from liquid gold ion sources,” J. Appl. Phys. 58, 2724–2730 (1985). https://doi.org/10.1116/1.570316

D.R. Kingham, and L.W. Swanson, “A theoretical model of a liquid metal ion source,” Vacuum, 34(10-11), 941-945 (1984). https://doi.org/10.1016/0042-207X(84)90175-1

L. Bruchhaus, et. al., “Comparison of technologies for nano device prototyping with a special focus on ion beams,” J. Appl. Phys. Rev. 4, 011302 (2017). https://doi.org/10.1063/1.4972262

L. Bischoff, P. Mazarov, L. Bruchhaus, and, J. Gierak, “Liquid metal alloy ion sources—An alternative for focussed ion beam technology,” Applied Physics Reviews, 3(2), 021101 (2016). https://doi.org/10.1063/1.4947095

L. Bischoff, N. Klingner, P. Mazarov, K. Lenz, R. Narkowicz, W. Pilz, and F. Meyer, “Dysprosium liquid metal alloy ion source for magnetic nanostructures,” Journal of Vacuum Science & Technology B, 40(5), 05282 (2022). https://doi.org/10.1116/6.0001837

I.S. Gasanov, I.I. Gurbanov, and E.M. Akbarov, Eur. Phys. J. D, 69, 75 (2015). https://doi.org/10.1140/epjd/e2015-50531-0

I.S. Gasanov, I.I. Gurbanov, and E.M. Akbarov, ACTA Physica Polonica A, 134(1), 119 (2018). https://doi.org/10.12693/APhysPolA.134.119

S.A. Aliyev, F.E. Mammadov, E.M. Akberov, I.I. Gurbanov, A.A. Badalov, and Sh.O. Eminov, “Main elements and characteristics of electrohydrodynamic ion sources based on InSb,” Azerbaijan J. of Physics, XXIX(3), section En, 19-23 (2023).

L. Bischoff, N. Klingner, P. Mazarov, W. Pilz, and F. Meyer, “Boron liquid metal alloy ion sources for special focused ion beam applications,” Journal of Vacuum Science & Technology B, 38(4), (2020). https://doi.org/10.1116/6.0000073

I.S. Gasanov, Plasma and beam technology, (Science, 2007), pp. 67-68. (in Russian)

Опубліковано
2025-03-03
Цитовано
Як цитувати
Мамедов, Ф., Алієв, С., Гурбанов, І., Емінов, Ш., Халілов, А., Акберов, Е., & Бадалов, А. (2025). Аналіз складу іонного пучка InSb та InSb0,98Bi0,02, отриманого з використанням рідких металів. Східно-європейський фізичний журнал, (1), 272-275. https://doi.org/10.26565/2312-4334-2025-1-31
Розділ
Статті