Дослідження процесів захоплювання та виділення імплантованих іонів дейтерію та гелію для плівок вольфраму і танталу

  • Микола Азаренков Національний науковий центр «Харківський фізико-техничний інститут», Харків, Україна https://orcid.org/0000-0002-4019-4933
  • Валентин Бобков Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Харків, Україна https://orcid.org/0000-0002-6772-624X
  • Людмила Тищенко Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Харків, Україна https://orcid.org/0000-0002-6300-6448
  • Юрій Ковтуненко Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Харків, Україна
  • Анатолій Скрипник Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Харків, Україна https://orcid.org/0000-0003-3691-2477
  • Дмитро Шевченко Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Харків, Україна https://orcid.org/0000-0002-4556-039X
  • Любов Гамаюнова Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Харків, Україна https://orcid.org/0000-0001-7220-9944
Ключові слова: дейтерій, гелій, іонна імплантація, термодесорбція, дефекти, W і Ta плівки

Анотація

Проведено аналіз основних наявних в літературі результатів досліджень накопичення та міграції іонно-імплантованих ізотопів водню та гелію у вольфрамових і танталових покриттях, утворення радіаційних пошкоджень кристалічної решітки та їх взаємодії з імплантованими газами. Показано вплив гелію та дейтерію на різні властивості і морфологію поверхні покриттів. Опромінення зразків проводили як пучками прискорених іонів ізотопів водню або He+, так і у плазмі, яка містить перелічені іони, при різних дозах та енергіях падаючих іонів, різних температурах мішені при імплантації. Особливу увагу приділено результатам досліджень, отриманим при одночасному опроміненні W, як у масивному вигляді, так і в тонкоплівковому. Використовувалися методи електронної мікроскопії, ре-емісійної мас-спектрометрії, термодесорбційної спектрометрії, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, рентгенівської дифракції, аналізу ядерної реакції та резерфордівського розсіювання іонів.

Завантаження

##plugins.generic.usageStats.noStats##

Посилання

L. Pranevicius, L. Pranevicius, and D. Milcius, Tungsten Coatings for Fusion Applications,(Monography, Vytauto Didžiojo universitetas, Kaunas, 2009), pр. 262.

Z. Tian, J.W. Davis, and A.A. Haasz, J. Nucl. Mater. 399, 101 (2010). http://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2010.01.007

E.V. Kornelsen, Canad. J. Phys. 48, 2812 (1970). https://cdnsciencepub.com/doi/abs/10.1139/p70-350

N. Yoshida, J. Nucl. Mater. 266-269, 197 (1999). https://doi.org/10.1016/s0022-3115(98)00817-4

J. Yu, W. Han, Z. Chen, and K. Zhu, Nucl. Mater. Energy. 12, 588 (2017). https://doi.org/10.1016/j.nme.2016.10.001

R. Behrisch, J. Surf. Invest.: X-Ray, Synchrotron Neutron Tech. 4(4), 549 (2010), https://doi.org/10.1134/S1027451010040014

C. Ruset, E. Grigore, H. Maier, R. Neu, H. Greuner, M. Mayer, and G. Matthews, Fusion Eng. Des. 86, 1677 (2011). https://doi.org/10.1016/j.fusengdes.2011.04.031

F. Jiang, Y. Zhang, and X. Li, Fusion Eng. Des. 93, 30 (2015). http://doi.org/10.1016/j.fusengdes.2015.02.020

F. Brossa, G. Piatti, and M. Bardy, J. Nucl. Mater. 103, 261 (1981). https://doi.org/10.1016/0022-3115(82)90608-0

J. Yu, W. Han, Z. Lian, and K. Zhu, Fusion Sci. Technol. 73, 5 (2018). http://doi.org/10.1080/15361055.2017.1372680

R. A. Neiser, G. R. Smolik, K. J. Hollis, and R. D. Watson, J. Thermal Spray Technol. 2(4), 393 (1993). http://doi.org//10.1007/bf02645870

S. Boir-Lavigne, C. Moreau, and R. G. Saint-Jacques, J. Thermal Spray Technol. 4(3), 261 (1995). http://doi.org//10.1007/bf02646969

S. Deschka, C. Garcia-Rosales, W. Hohenauer, R. Duwe, E. Gauthier, J. Linke, M. Lochter, W. Mallener, L. Plöchl, P. Rödhammer, and A. Salito, J. Nucl. Mater. 233-237, 645 (1996). https://doi.org/10.1016/S0022-3115(96)00090-6

C. Garcia-Rosaleles, P. Franzen, H. Plank, J. Roth, and E. Gauthier, J. Nucl. Mater. 233-237, 803 (1996). https://doi.org//10.1016/s0022-3115(96)00185-7

I. Smid, M. Akiba, G. Vieider, and L. Plöchl, J. Nucl. Mater. 258-263, 160 (1998). https://doi.org//10.1016/s0022-3115(98)00358-4

C. Ruset, E. Grigore, I. Munteanu, H. Maier, H. Greuner, C. Hopf, V. Phylipps, and G. Matthews, Fusion Eng. Des. 84, 1662 (2009). https://doi.org/10.1016/j.fusengdes.2008.11.053

C. Ruset, E. Grigore, D. Falie, M. Gherendi, H. Maier, M. Rasinski, G. F. Matthews, and V. Zoita, Fusion Eng. Des. 88, 1690 (2013). https://doi.org/10.1016/j.fusengdes.2013.02.017

H. Greuner, B. Boeswirth, J. Boscary, and P. McNeely, J. Nucl. Mater. 367, 1444 (2007). https://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2007.04.004

C. Ruset, E. Grigore, H. Maier, R. Neu, X. Li, H. Dong, R. Mitteau, and X. Courtois, Phys. Scr. T128, 171 (2007). https://doi.org/10.1088/0031-8949/2007/t128/033

E. Grigore, C. Ruset, K. Short, D. Hoeft, H. Dong, X. Y. Li, and T. Bell, Surf. Coat. Technol. 200, 744 (2005). https://sci-hub.st/10.1016/j.surfcoat.2005.02.118

A. Cambe, E. Gauthier, J. M. Layet, and S. Bentivegna, Fusion Eng. Des. 56-57, 331 (2001). https://doi.org/10.1016/s0920-3796(01)00350-7

K. Tokunaga, T. Matsubara, Y. Miyamoto, Y. Takao, N. Yoshida, N. Noda, Y. Kubota, T. Sogabe, T. Kato, and L. Plöchl, J. Nucl. Mater. 283-287, 1121 (2000). https://doi.org/10.1016/s0022-3115(00)00384-6

L. Pranevičius, Mater. Sci. (Medžiagotyra). 15(3), 212 (2009). https://matsc.ktu.lt/index.php/MatSc/article/view/26151

Y. Niu, X. Zheng, H. Ji, L. Qi, C. Ding, J. Chen, and G. Luo, Fusion Eng. Des. 85, 1521 (2010). https://doi.org/10.1016/j.fusengdes.2010.04.032

S. Tamura, K. Tokunaga, and N. Yoshida, J. Nucl. Mater. 313-316, 250 (2003). https://doi.org/10.1016/S0022-3115(02)01336-3

D. Jihong, L. Zhengxiang, L. Gaojian, Z. Hui, and H. Chunliang, Surf. Coat. Technol. 198, 169 (2005). https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.10.130

V.K. Alimov, and B.M.U. Scherzer, J. Nucl. Mater. 240(1), 75 (1996). https://doi.org/10.1016/S0022-3115(96)00442-4

I. Bizyukov, K. Krieger, N. Azarenkov, S. Levchuk, and Ch. Linsmeier, J. Nucl. Mater. 337-339, 965 (2005). https://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2004.09.048

L.H. Taylor, and L. Green, Fusion Eng. Des. 32-33, 105 (1996). https://doi.org/10.1016/S0920-3796(96)00457-7

L. Gladczuk, A. Patel, Ch. S. Paur, and M. Sosnowski, Thin Solid Films. 467(1-2), 150 (2004). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.04.041

K. Hieber, and N. M. Mayer, Thin Solid Films. 90(1), 43 (1982). https://doi.org/10.1016/0040-6090(82)90069-4

S. Sato, Thin Solid Films. 94(4), 321 (1982). https://doi.org/10.1016/0040-6090(82)90493-X

D.W. Face, and D.E. Prober, J. Vac. Sci. Technol. A, 5, 3408 (1987). http://doi.org/10.1116/1.574203

G.S. Chen, P.Y. Lee, and S.T. Chen, Thin Solid Films. 353, 264 (1999). https://doi.org/10.1016/S0040-6090(99)00431-9

S.S. Alimov, N.A. Azarenkov, V.V. Bobkov, I.I. Okseniuk, A.A. Skrypnyk, R.I. Starovoytov, and L.P. Tishchenko, J. Kharkiv National University, (1041), 116 (2013). https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/13520

V.V. Bobkov, L.P. Tishchenko, Yu.I. Kovtunenko, O.B. Tsapenko, A.O. Skrypnik, Yu E. Logachev, and L.A. Gamayunova, PAST, Series: «Plasma Physics», (6), 63 (2018). https://vant.kipt.kharkov.ua/ARTICLE/VANT_2018_6/article_2018_6_63.pdf

V. V. Bobkov, L. P. Tishchenko, Yu. I. Kovtunenko, A. B. Tsapenko, А. А. Skrypnyk, and L. A. Gamayunova, J. Surf. Invest. X ray, Synchrotron Neutron Tech. 14(5), 899 (2020). http://link.springer.com/article/10.1134/S1027451020050031

R. A. Causey,J. Nucl. Mater. 300(2-3), 91 (2002). https://doi.org/10.1016/S0022-3115(01)00732-2

Y. Oya, M. Shimada, T. Tokunaga, H. Watanabe, N. Yoshida, Y. Hatano, R. Kasada, T. Nagasaka, A. Kimura, and K. Okuno, J. Nucl. Mater. 442, S242 (2013). http://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2013.01.321

Y. Niu, S. Suzuki, X. Zheng, Ch. Ding, J. Chen, W. Wang, Y. Oya, and K. Okuno, J. Nucl. Mater. 417, 551 (2011). http://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2010.12.108

Y. Zhang, W. Wang, H. Ren, W. Han, F. Liu, J. Yu, Sh. Peng, and K. Zhu, Nucl. Instrum. and Methods B. 307, 357 (2013). https://doi.org/10.1016/j.nimb.2013.04.026

R.A. Anderl, D.F. Holland, and G.R. Longhurst, J. Nucl. Mater. 176–177, 683 (1990). https://doi.org/10.1016/0022-3115(90)90127-9

O.V. Ogorodnikova, K. Sugiyama, T. Schwarz-Selinger, T. Dürbeck, and M. Balden, J. Nucl. Mater. 419, 194 (2011). https://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2011.07.023

K. Katayama, K. Uehara, H. Date, S. Fukada, and H. Watanabe, J. Nucl. Mater. 463, 1033 (2015). https://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2014.11.103

L.P. Tishchenko, T.I. Peregon, Yu.I. Kovtunenko, V.V. Bobkov, A.V. Onishchenko, and R.I. Starovoitov, Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics, 70(8), 1372 (2006). https://www.elibrary.ru/item.asp?id=14370770.

V.V. Bobkov, A.V. Onishchenko, O.V. Sobol, R.I. Starovoitov, Yu.I. Kovtunenko, Yu.E. Logachev, and L.P. Tishchenko, J. Surf. Invest. X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 4(5), 852 (2010). http://link.springer.com/article/10.1134/S1027451010050289

V.V. Bobkov, L.P. Tishchenko, A.V. Onishchenko, E.N. Zubarev, R.I. Starovoitov, Yu.I. Kovtunenko, Yu.E. Logachev, and L.A. Gamayunova, J. Surf. Invest.: X-ray, Synchrotron and Neutron Tech. 5(4), 806 (2011). http://link.springer.com/article/10.1134/S1027451011080052

V.V. Bobkov, R.I. Starovoitov, L.P. Tishchenko, Yu.I. Kovtunenko, and L.A. Gamayunova, J. Surf. Invest.: X-ray, Synchrotron and Neutron Tech. 8(5), 853 (2014). https://doi.org/10.1134/S1027451014030264

V.V. Bobkov, L.P. Tishchenko, Yu.I. Kovtunenko, R.I. Starovoytov, Yu.E. Logachev, A.B. Tsapenko, and L.A. Gamayunova, Ukr. J. Phys. 65(1), 61 (2020). https://doi.org/10.15407/ujpe65.1.61

S. Krat, Yu. Gasparyan, Ya. Vasina, A. Davletiyarova, A. Pisarev, Vacuum. 149, 23 (2018). https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.12.004

Yu. Gasparyan, S. Krat, A. Davletiyarova, Ya. Vasina, and A. Pisarev, Fusion Eng. Des. 146, 1043 (2019). https://doi.org/10.1016/j.fusengdes.2019.01.154

B.B. Cipiti, and G.L. Kulcinski, J. Nucl. Mater. 347(3), 298 (2005). https://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2005.08.009

V.V. Bobkov, L.P. Tishchenko, Yu.I. Kovtunenko, A.O. Skrypnyk, and L.A. Gamayunova, PAST, Series: «Plasma Physics», (6), 93 (2020). https://vant.kipt.kharkov.ua/ARTICLE/VANT_2020_6/article_2020_6_93.pdf

V.V. Bobkov, R.I. Starovoitov, L.P. Tishchenko, E.N. Zubarev, Yu.I. Kovtunenko, Yu.E. Logachev, in: Proceedings of the 20th International Conference on Ion-Surface Interactions, (ISI-2011, Zvenigorod, 2011), Vol. 2, pp. 61–64. (in Russian)

N.A. Azarenkov, V.V. Bobkov, L.P. Tishchenko, R.I. Starovoitov, Yu.I. Kovtunenko, Yu.E. Logachev, and L.A. Gamayunova, PAST, Series: «Plasma Physics», (6), 73 (2016). https://vant.kipt.kharkov.ua/ARTICLE/VANT_2016_6/article_2016_6_73.pdf

O.V. Ogorodnikova, N.S. Klimov, Yu.M. Gasparyan, Z.R. Harutyunyan, V.S. Efimov, D. Kovalenko, K. Gutarov, А.G. Poskakalov, M.M. Kharkov, and A.V. Kaziev, in: Proceedings of the 25th International Conference on Ion-Surface Interactions, (ISI-2021 Moscow, Russia, 2021), Vol. 1, pp. 65–67.

S.A. Krat, E.A. Fefelova, A.S Prishvitsyn, Yu.M. Gasparyan, and A.A. Pisarev, in: Proceedings of the 25th International Conference on Ion-Surface Interactions, (ISI-2021 Moscow, Russia, 2021), Vol. 1, pp. 108–110. (in Russian)

Опубліковано
2024-03-05
Цитовано
Як цитувати
Азаренков, М., Бобков, В., Тищенко, Л., Ковтуненко, Ю., Скрипник, А., Шевченко, Д., & Гамаюнова, Л. (2024). Дослідження процесів захоплювання та виділення імплантованих іонів дейтерію та гелію для плівок вольфраму і танталу. Східно-європейський фізичний журнал, (1), 10-30. https://doi.org/10.26565/2312-4334-2024-1-01