Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/В4С з кристалічними шарами сурми

І. А. Копилець Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
В. В. Кондратенко Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»

Ключові слова: багатошарова композиція, наношари, сурма, карбід бору, рентгенівська дифракція

Анотація

Описані особливості змін в структурі багатошарової композиції Sb/В4С з кристалічним шарами Sb при нагріванні до 450 °С. Композиція Sb/В4С виготовлена методом магнетронного розпилення і мала товщину шарів 7 нм (Sb) і 8,5 нм (В4С). Дослідження проводилося за допомогою рентгенівської дифрактометрії на малих і великих кутах. Дані моделювання малокутових дифрактограм вказують на наявність перемішаних зон на межах чистих сурм’яних і B4C шарів. Ці перемішані зони, з неоднорідним складом по товщині, при нагріванні розшаровуються та істотно зменшуються. Аморфний стан шарів B4C і початкова текстура шарів Sb зберігаються в ході відпалів. Багатошарові періодичні композиції Sb/В4С з періодом 15,6 нм і кристалічними шарами сурми демонструють досконалу шарувату будову до температури 350 °С.

Завантаження

##plugins.generic.usageStats.noStats##

Біографії авторів

І. А. Копилець, Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»

c.н.с.

В. В. Кондратенко, Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»

с.н.с.

Посилання

Kopylets I. A., Kondratenko V. V., Zubarev E. N., Voronov D. L., Gullikson E. M., Vishnyakov E. A., Ragozin E. N., Fabrication and characterization of Sb/B4C multilayer mirrors for soft X-rays // Applied Surface Science. — 2014. — Vol. 307. — Р. 360–364.

Вишняков Е. А., Лугинин М. С., Пирожков А. С., Рагозин Е. Н. Апериодические многослойные зеркала нормального падения в области λ < 13 нм // Труды 53-й научной конференции МФТИ «Современные проблемы фундаментальных и прикладных наук». Часть II. Общая и прикладная физика. — М.: МФТИ, 2010. — С. 232–234.

Вишняков Е. А., Воронов Д. Л., Gullikson E. M., Кондратенко В. В., Копылец И. А., Лугинин М. С., Пирожков А. С., Рагозин Е. Н., Шатохин А. Н. «Многослойные зеркала нормального падения на основе Sb/ B4C для диапазона 80 A < l < 120 A» // Квант. электроника. — 2013. — Т. 43, № 7. — С. 666–673.

Копилець І. А., Зубарєв Є. М., Кондратенко В. В., Севрюкова В. А. Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B4C при нагріві до 360 °С // Металлофиз. новейшие технол. — 2016. — Т. 38, № 7. — С. 911–921.

Montcalm C., Sullivan B. T., Pepin H., Dobrowolski J. A., Sutton M. Extreme-ultraviolet Mo/Si multilayer mirrors deposited by radiofrequency-magnetron sputtering // Applied optics. — 1994. — Vol. 33, No. 10. — P. 2057– 2068.

http://sci-progs.com/

Okamoto H. B-Sb (Boron-Antimony) // Journal of Phase Equilibria. — 1991. — Vol. 12. —
No. 3. — P. 391–393.

Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник: В 3 т.: Т. 1 / Под общ. ред. Н. П. Лякишева. — М.: Машиностроение, 1996. — 992 с.