Features of formation and effect of heating on the structure of Sb/В4С multilayer composition with the crystalline antimony layers

І. А. Копилець Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
В. В. Кондратенко Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»

Keywords: multilayer composition, nanoscale layers, antimony, boron carbide, X-ray diffraction

Abstract

Details of structure changes in the Sb/В4С multilayer composition with crystalline Sb layers under heating up to 450 °С are described. The Sb/В4С composition was made by magnetron sputtering and had layers’ thicknesses of 7 nm (Sb) and 8,5 nm (В4С). The research was conducted using X-ray diffractometry at small and large angles. Computer modeling of the small-angle diffractograms indicates the presence of mixed zones at borders between the layers of pure antimony and B4C. These mixed zones, with an inhomogeneous composition in thickness, delaminated and diminished substantially under heating. Amorphous state of the B4C layers and the initial crystalline texture of the Sb layers saved during annealing. The Sb/В4С multilayer periodic composition with a period of 15.6 nm, and with the layers of crystalline antimony, demonstrates the perfect stratified structure up to a temperature of 350 °С.

Downloads

Download data is not yet available.

Author Biographies

І. А. Копилець, Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»

c.н.с.

В. В. Кондратенко, Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»

с.н.с.

References

Kopylets I. A., Kondratenko V. V., Zubarev E. N., Voronov D. L., Gullikson E. M., Vishnyakov E. A., Ragozin E. N., Fabrication and characterization of Sb/B4C multilayer mirrors for soft X-rays // Applied Surface Science. — 2014. — Vol. 307. — Р. 360–364.

Вишняков Е. А., Лугинин М. С., Пирожков А. С., Рагозин Е. Н. Апериодические многослойные зеркала нормального падения в области λ < 13 нм // Труды 53-й научной конференции МФТИ «Современные проблемы фундаментальных и прикладных наук». Часть II. Общая и прикладная физика. — М.: МФТИ, 2010. — С. 232–234.

Вишняков Е. А., Воронов Д. Л., Gullikson E. M., Кондратенко В. В., Копылец И. А., Лугинин М. С., Пирожков А. С., Рагозин Е. Н., Шатохин А. Н. «Многослойные зеркала нормального падения на основе Sb/ B4C для диапазона 80 A < l < 120 A» // Квант. электроника. — 2013. — Т. 43, № 7. — С. 666–673.

Копилець І. А., Зубарєв Є. М., Кондратенко В. В., Севрюкова В. А. Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B4C при нагріві до 360 °С // Металлофиз. новейшие технол. — 2016. — Т. 38, № 7. — С. 911–921.

Montcalm C., Sullivan B. T., Pepin H., Dobrowolski J. A., Sutton M. Extreme-ultraviolet Mo/Si multilayer mirrors deposited by radiofrequency-magnetron sputtering // Applied optics. — 1994. — Vol. 33, No. 10. — P. 2057– 2068.

http://sci-progs.com/

Okamoto H. B-Sb (Boron-Antimony) // Journal of Phase Equilibria. — 1991. — Vol. 12. —
No. 3. — P. 391–393.

Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник: В 3 т.: Т. 1 / Под общ. ред. Н. П. Лякишева. — М.: Машиностроение, 1996. — 992 с.