Вплив іонного бомбардування і шорсткості вихідної поверхні на оптичні параметри аморфних металевих сплавів
Ключові слова:
аморфний металевий сплав, еліпсометрія, оптичні властивості, низькоенергетичне іонне опромінення
Анотація
У роботі досліджувався вплив бомбардування низькоенергетичними іонами аргону на оптичні властивості аморфних металевих сплавів Ni40Fe40B20 та Ni40Fe50B10 в діапазоні довжин хвиль волн λ = 500⋅10–6 – 1250⋅10–6 м. У результаті еліпсометричних вимірювань та вирішення оберненої задачі еліпсометрії встановлені оптичні характеристики сплавів. Показано, що бомбардування поверхні аморфних сплавів низькоенергетичними іонами призводить до зменшення оптичної товщини поверхневого шару. Виявлено, що “підкладки” різних за первинним станом поверхонь після полірування мають, практично, однакові показники поглинання і заломлення.
Завантаження
##plugins.generic.usageStats.noStats##
Посилання
Немошкаленко В.В., Романова А.В., Ильинский А.Г. Аморфные металлические сплавы. – К.: Наукова думка, 1987. – 248 с.
Судзуки К., Фудзимори К., Хасимото К. Аморфные металлы/под. ред. проф. Ц. Масумото. – М.: Металлургия, 1987. – 328 с.
Аморфные металлические сплавы/Под ред. Ф.Е. Люборского. – М.: Металлургия, 1987. – 584 с.
Золотухин И.В., Калинин Ю.Е. Аморфные металлические сплавы//УФН. – 1990. – Т. 160, №. 9. – С. 75-110.
Золотухин И.В. Физические свойства аморфных металлических материалов. – М.: Металлургия, 1986. – 176 с.
Кекало И.Б., Жданов А.Н., Цветков В.Ю. Влияние упругой и пластической деформации на магнитные свойства аморфных сплавов//Сб. Структура, структурные превращения и магнитные свойства аморфных металлических сплавов.– М.: Металлургия, 1986.– С. 118-130.
Федоров В.А., Ушаков И.В. Влияние отжига на изменение характера деформирования и разрушения металлического стекла при локальном нагружении//ЖТФ. – 2001. – Т. 71, № 6. – С. 28-31.
Пивоваров А.Л., Ченакин С.П., Черепин В.Т. Новая метастабильная структура в аморфном сплаве Fe85B15 после ионной бомбардировки//Письма в ЖТФ. – 1989. – Т 50, № 10. – С. 420-421.
Поздєєв С.В., Дубровська Г.М., Поздєєва О.В. Дослідження впливу фізико-механічних факторів при інтерпретації еліпсометричних вимірювань для скла К-8 після електронно-променевої обробки//ФХТТ. – 2001. – Т. 2, № 2. – С. 305-310.
Поперенко Л.В., Носач Д.В., Юргелевич І.В. Вплив тривалого нейтронного опромінення на оптичні властивості аморфного сплаву в інфрачервоній області//Sensor. Electr. Micros. Techn. – 2011. – Т. 2 (8) № 2. – С. 27-31.
Погребняк А.Д., Кульментьева О.П. Структурно-фазовые превращения в поверхностных слоях и свойства металлических материалов после импульсного воздействия пучков частиц//ФИП. – 2003. – Т. 1, № 2. – С. 108-136.
Dokukin M.E., Perov N.S., Beskrovnyi A.I., et. al. Structural relaxation of amorphous metallic alloys//J. Magn. Magn. Mat. – 2004. – Vol. 272276S. – P. E1151-E1152.
Zaichenko S., Radkovskaya A., Sivov A., et. al. Influence of boundary conditions on the parameters of the low-temperature DT effect//J. Magn. Magn. Mat.– 2003. – Vol. 258-259. – P. 567-570.
Куницкий Ю.А., Коржик В.Н., Борисов Ю.С. Некристаллические металлические материалы и покрытия в технике. – К.: Техника, 1988. – 198 с.
Черезова Л.А. Ионно-лучевые методы в оптической технологии. – СПб: СПбГУ ИТМО, 2007. – 151 с.
Попов В.М., Ю.М. Шустов, Клименко А.С., и др. Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов//Материалы электроники.–2009.– № 4.– С. 48-51.
Белоус В.А., Лапшин В.И., Марченко И.Г., и др. Радиационные технологи модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация//ФИП. – 2003. – Т. 1, №. 1. – С. 40-48.
Сафонов В.И., Марченко И.Г., Картмазов Г.Н., и др. Формирование приповерхностных слоев при низкоэнергетическом высокодозном ионно-плазменном облучении поверхности меди//ВАНТ.–2000. – № 4. – C. 182-184.
Швець У., Карпуша В. Еліпсометричні дослідження структурних змін аморфних сплавів унаслідок пластичної деформації//Вісник Львівського університету. Серія фізична. – 2008. – № 41. – С. 275-282.
Losurdo M., Bergmair M., Bruno G., et. al. Spectroscopic ellypsometry and polarimetry for materials and systems analysis at the nanometer scale: state-of-the-art, potential, and perspectives //J. Nanopart. Res. – 2009. – Vol. 11, № 7. – P. 1521-1554.
Hilfiker J., Hale J., Johs B., Tiwald T., Synowicki R., Bungay C., Woollam J.A. Spectroscopic ellipsometry in optical coatings manufacturing// SVC 44th Annual Technical Conference Proceedings, (Philadelphia). – 2001. – P. 295-300.
Карпуша В.Д., Швец У .С. Взаимосвязь оптических свойств приповерхностных слоев и объемных характеристик аморфных сплавов //ФТТ. – 2007. – Т. 49, №. 3. – С. 465-467.
Клюев В.В., Матвеев В.И. Неразрушающий контроль и диагностика нанотехнологий и наноматериалов//Контроль. Диагностика. – 2007.– № 10. – С. 3-13.
Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. – М.: Мир, 1981. – 548 с.
Беляева А.И., Галуза А.А., Савченко А.А., и др. Влияние бомбардировки ионами дейтерия на морфологию и оптические свойства поверхности рекристаллизированного вольфрама//Уч. зап. Тавр. нац. ун. Сер. ф.-м. н. – 2010. – Т. 23 (62), №. 3. – С. 136-1487.
Судзуки К., Фудзимори К., Хасимото К. Аморфные металлы/под. ред. проф. Ц. Масумото. – М.: Металлургия, 1987. – 328 с.
Аморфные металлические сплавы/Под ред. Ф.Е. Люборского. – М.: Металлургия, 1987. – 584 с.
Золотухин И.В., Калинин Ю.Е. Аморфные металлические сплавы//УФН. – 1990. – Т. 160, №. 9. – С. 75-110.
Золотухин И.В. Физические свойства аморфных металлических материалов. – М.: Металлургия, 1986. – 176 с.
Кекало И.Б., Жданов А.Н., Цветков В.Ю. Влияние упругой и пластической деформации на магнитные свойства аморфных сплавов//Сб. Структура, структурные превращения и магнитные свойства аморфных металлических сплавов.– М.: Металлургия, 1986.– С. 118-130.
Федоров В.А., Ушаков И.В. Влияние отжига на изменение характера деформирования и разрушения металлического стекла при локальном нагружении//ЖТФ. – 2001. – Т. 71, № 6. – С. 28-31.
Пивоваров А.Л., Ченакин С.П., Черепин В.Т. Новая метастабильная структура в аморфном сплаве Fe85B15 после ионной бомбардировки//Письма в ЖТФ. – 1989. – Т 50, № 10. – С. 420-421.
Поздєєв С.В., Дубровська Г.М., Поздєєва О.В. Дослідження впливу фізико-механічних факторів при інтерпретації еліпсометричних вимірювань для скла К-8 після електронно-променевої обробки//ФХТТ. – 2001. – Т. 2, № 2. – С. 305-310.
Поперенко Л.В., Носач Д.В., Юргелевич І.В. Вплив тривалого нейтронного опромінення на оптичні властивості аморфного сплаву в інфрачервоній області//Sensor. Electr. Micros. Techn. – 2011. – Т. 2 (8) № 2. – С. 27-31.
Погребняк А.Д., Кульментьева О.П. Структурно-фазовые превращения в поверхностных слоях и свойства металлических материалов после импульсного воздействия пучков частиц//ФИП. – 2003. – Т. 1, № 2. – С. 108-136.
Dokukin M.E., Perov N.S., Beskrovnyi A.I., et. al. Structural relaxation of amorphous metallic alloys//J. Magn. Magn. Mat. – 2004. – Vol. 272276S. – P. E1151-E1152.
Zaichenko S., Radkovskaya A., Sivov A., et. al. Influence of boundary conditions on the parameters of the low-temperature DT effect//J. Magn. Magn. Mat.– 2003. – Vol. 258-259. – P. 567-570.
Куницкий Ю.А., Коржик В.Н., Борисов Ю.С. Некристаллические металлические материалы и покрытия в технике. – К.: Техника, 1988. – 198 с.
Черезова Л.А. Ионно-лучевые методы в оптической технологии. – СПб: СПбГУ ИТМО, 2007. – 151 с.
Попов В.М., Ю.М. Шустов, Клименко А.С., и др. Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов//Материалы электроники.–2009.– № 4.– С. 48-51.
Белоус В.А., Лапшин В.И., Марченко И.Г., и др. Радиационные технологи модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация//ФИП. – 2003. – Т. 1, №. 1. – С. 40-48.
Сафонов В.И., Марченко И.Г., Картмазов Г.Н., и др. Формирование приповерхностных слоев при низкоэнергетическом высокодозном ионно-плазменном облучении поверхности меди//ВАНТ.–2000. – № 4. – C. 182-184.
Швець У., Карпуша В. Еліпсометричні дослідження структурних змін аморфних сплавів унаслідок пластичної деформації//Вісник Львівського університету. Серія фізична. – 2008. – № 41. – С. 275-282.
Losurdo M., Bergmair M., Bruno G., et. al. Spectroscopic ellypsometry and polarimetry for materials and systems analysis at the nanometer scale: state-of-the-art, potential, and perspectives //J. Nanopart. Res. – 2009. – Vol. 11, № 7. – P. 1521-1554.
Hilfiker J., Hale J., Johs B., Tiwald T., Synowicki R., Bungay C., Woollam J.A. Spectroscopic ellipsometry in optical coatings manufacturing// SVC 44th Annual Technical Conference Proceedings, (Philadelphia). – 2001. – P. 295-300.
Карпуша В.Д., Швец У .С. Взаимосвязь оптических свойств приповерхностных слоев и объемных характеристик аморфных сплавов //ФТТ. – 2007. – Т. 49, №. 3. – С. 465-467.
Клюев В.В., Матвеев В.И. Неразрушающий контроль и диагностика нанотехнологий и наноматериалов//Контроль. Диагностика. – 2007.– № 10. – С. 3-13.
Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. – М.: Мир, 1981. – 548 с.
Беляева А.И., Галуза А.А., Савченко А.А., и др. Влияние бомбардировки ионами дейтерия на морфологию и оптические свойства поверхности рекристаллизированного вольфрама//Уч. зап. Тавр. нац. ун. Сер. ф.-м. н. – 2010. – Т. 23 (62), №. 3. – С. 136-1487.
Опубліковано
2017-07-28
Як цитувати
Карпуша, В. Д., & Швець, У. С. (2017). Вплив іонного бомбардування і шорсткості вихідної поверхні на оптичні параметри аморфних металевих сплавів. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(1), 103 - 111. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8855
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
