Influence of ion bombardment and initial surface roughness on optical characteristics of amorphous metal alloys
Keywords:
amorphous metal layer, ellipsometry, optical properties, low-energy ion irradiation
Abstract
In the present work the influence of bombardment of low energy argon ions on optical properties of metal alloys Ni40Fe40B20 and Ni40Fe40B10 has been investigated in the range of wavelengths from λ = 500⋅10−6 to λ = 1250⋅10−6 m. On the basis of ellipsometric measurements and inverse ellipsometry problem solution the alloys optical characteristics have been determined. It is shown that, bombardment of the amorphous alloys by low energy ions leads to decrease in optical thickness of the surface layer. It is found, that “substrates” having different surfaces after polishing have the same reflection and refraction indices.
Downloads
Download data is not yet available.
References
Немошкаленко В.В., Романова А.В., Ильинский А.Г. Аморфные металлические сплавы. – К.: Наукова думка, 1987. – 248 с.
Судзуки К., Фудзимори К., Хасимото К. Аморфные металлы/под. ред. проф. Ц. Масумото. – М.: Металлургия, 1987. – 328 с.
Аморфные металлические сплавы/Под ред. Ф.Е. Люборского. – М.: Металлургия, 1987. – 584 с.
Золотухин И.В., Калинин Ю.Е. Аморфные металлические сплавы//УФН. – 1990. – Т. 160, №. 9. – С. 75-110.
Золотухин И.В. Физические свойства аморфных металлических материалов. – М.: Металлургия, 1986. – 176 с.
Кекало И.Б., Жданов А.Н., Цветков В.Ю. Влияние упругой и пластической деформации на магнитные свойства аморфных сплавов//Сб. Структура, структурные превращения и магнитные свойства аморфных металлических сплавов.– М.: Металлургия, 1986.– С. 118-130.
Федоров В.А., Ушаков И.В. Влияние отжига на изменение характера деформирования и разрушения металлического стекла при локальном нагружении//ЖТФ. – 2001. – Т. 71, № 6. – С. 28-31.
Пивоваров А.Л., Ченакин С.П., Черепин В.Т. Новая метастабильная структура в аморфном сплаве Fe85B15 после ионной бомбардировки//Письма в ЖТФ. – 1989. – Т 50, № 10. – С. 420-421.
Поздєєв С.В., Дубровська Г.М., Поздєєва О.В. Дослідження впливу фізико-механічних факторів при інтерпретації еліпсометричних вимірювань для скла К-8 після електронно-променевої обробки//ФХТТ. – 2001. – Т. 2, № 2. – С. 305-310.
Поперенко Л.В., Носач Д.В., Юргелевич І.В. Вплив тривалого нейтронного опромінення на оптичні властивості аморфного сплаву в інфрачервоній області//Sensor. Electr. Micros. Techn. – 2011. – Т. 2 (8) № 2. – С. 27-31.
Погребняк А.Д., Кульментьева О.П. Структурно-фазовые превращения в поверхностных слоях и свойства металлических материалов после импульсного воздействия пучков частиц//ФИП. – 2003. – Т. 1, № 2. – С. 108-136.
Dokukin M.E., Perov N.S., Beskrovnyi A.I., et. al. Structural relaxation of amorphous metallic alloys//J. Magn. Magn. Mat. – 2004. – Vol. 272276S. – P. E1151-E1152.
Zaichenko S., Radkovskaya A., Sivov A., et. al. Influence of boundary conditions on the parameters of the low-temperature DT effect//J. Magn. Magn. Mat.– 2003. – Vol. 258-259. – P. 567-570.
Куницкий Ю.А., Коржик В.Н., Борисов Ю.С. Некристаллические металлические материалы и покрытия в технике. – К.: Техника, 1988. – 198 с.
Черезова Л.А. Ионно-лучевые методы в оптической технологии. – СПб: СПбГУ ИТМО, 2007. – 151 с.
Попов В.М., Ю.М. Шустов, Клименко А.С., и др. Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов//Материалы электроники.–2009.– № 4.– С. 48-51.
Белоус В.А., Лапшин В.И., Марченко И.Г., и др. Радиационные технологи модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация//ФИП. – 2003. – Т. 1, №. 1. – С. 40-48.
Сафонов В.И., Марченко И.Г., Картмазов Г.Н., и др. Формирование приповерхностных слоев при низкоэнергетическом высокодозном ионно-плазменном облучении поверхности меди//ВАНТ.–2000. – № 4. – C. 182-184.
Швець У., Карпуша В. Еліпсометричні дослідження структурних змін аморфних сплавів унаслідок пластичної деформації//Вісник Львівського університету. Серія фізична. – 2008. – № 41. – С. 275-282.
Losurdo M., Bergmair M., Bruno G., et. al. Spectroscopic ellypsometry and polarimetry for materials and systems analysis at the nanometer scale: state-of-the-art, potential, and perspectives //J. Nanopart. Res. – 2009. – Vol. 11, № 7. – P. 1521-1554.
Hilfiker J., Hale J., Johs B., Tiwald T., Synowicki R., Bungay C., Woollam J.A. Spectroscopic ellipsometry in optical coatings manufacturing// SVC 44th Annual Technical Conference Proceedings, (Philadelphia). – 2001. – P. 295-300.
Карпуша В.Д., Швец У .С. Взаимосвязь оптических свойств приповерхностных слоев и объемных характеристик аморфных сплавов //ФТТ. – 2007. – Т. 49, №. 3. – С. 465-467.
Клюев В.В., Матвеев В.И. Неразрушающий контроль и диагностика нанотехнологий и наноматериалов//Контроль. Диагностика. – 2007.– № 10. – С. 3-13.
Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. – М.: Мир, 1981. – 548 с.
Беляева А.И., Галуза А.А., Савченко А.А., и др. Влияние бомбардировки ионами дейтерия на морфологию и оптические свойства поверхности рекристаллизированного вольфрама//Уч. зап. Тавр. нац. ун. Сер. ф.-м. н. – 2010. – Т. 23 (62), №. 3. – С. 136-1487.
Судзуки К., Фудзимори К., Хасимото К. Аморфные металлы/под. ред. проф. Ц. Масумото. – М.: Металлургия, 1987. – 328 с.
Аморфные металлические сплавы/Под ред. Ф.Е. Люборского. – М.: Металлургия, 1987. – 584 с.
Золотухин И.В., Калинин Ю.Е. Аморфные металлические сплавы//УФН. – 1990. – Т. 160, №. 9. – С. 75-110.
Золотухин И.В. Физические свойства аморфных металлических материалов. – М.: Металлургия, 1986. – 176 с.
Кекало И.Б., Жданов А.Н., Цветков В.Ю. Влияние упругой и пластической деформации на магнитные свойства аморфных сплавов//Сб. Структура, структурные превращения и магнитные свойства аморфных металлических сплавов.– М.: Металлургия, 1986.– С. 118-130.
Федоров В.А., Ушаков И.В. Влияние отжига на изменение характера деформирования и разрушения металлического стекла при локальном нагружении//ЖТФ. – 2001. – Т. 71, № 6. – С. 28-31.
Пивоваров А.Л., Ченакин С.П., Черепин В.Т. Новая метастабильная структура в аморфном сплаве Fe85B15 после ионной бомбардировки//Письма в ЖТФ. – 1989. – Т 50, № 10. – С. 420-421.
Поздєєв С.В., Дубровська Г.М., Поздєєва О.В. Дослідження впливу фізико-механічних факторів при інтерпретації еліпсометричних вимірювань для скла К-8 після електронно-променевої обробки//ФХТТ. – 2001. – Т. 2, № 2. – С. 305-310.
Поперенко Л.В., Носач Д.В., Юргелевич І.В. Вплив тривалого нейтронного опромінення на оптичні властивості аморфного сплаву в інфрачервоній області//Sensor. Electr. Micros. Techn. – 2011. – Т. 2 (8) № 2. – С. 27-31.
Погребняк А.Д., Кульментьева О.П. Структурно-фазовые превращения в поверхностных слоях и свойства металлических материалов после импульсного воздействия пучков частиц//ФИП. – 2003. – Т. 1, № 2. – С. 108-136.
Dokukin M.E., Perov N.S., Beskrovnyi A.I., et. al. Structural relaxation of amorphous metallic alloys//J. Magn. Magn. Mat. – 2004. – Vol. 272276S. – P. E1151-E1152.
Zaichenko S., Radkovskaya A., Sivov A., et. al. Influence of boundary conditions on the parameters of the low-temperature DT effect//J. Magn. Magn. Mat.– 2003. – Vol. 258-259. – P. 567-570.
Куницкий Ю.А., Коржик В.Н., Борисов Ю.С. Некристаллические металлические материалы и покрытия в технике. – К.: Техника, 1988. – 198 с.
Черезова Л.А. Ионно-лучевые методы в оптической технологии. – СПб: СПбГУ ИТМО, 2007. – 151 с.
Попов В.М., Ю.М. Шустов, Клименко А.С., и др. Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов//Материалы электроники.–2009.– № 4.– С. 48-51.
Белоус В.А., Лапшин В.И., Марченко И.Г., и др. Радиационные технологи модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация//ФИП. – 2003. – Т. 1, №. 1. – С. 40-48.
Сафонов В.И., Марченко И.Г., Картмазов Г.Н., и др. Формирование приповерхностных слоев при низкоэнергетическом высокодозном ионно-плазменном облучении поверхности меди//ВАНТ.–2000. – № 4. – C. 182-184.
Швець У., Карпуша В. Еліпсометричні дослідження структурних змін аморфних сплавів унаслідок пластичної деформації//Вісник Львівського університету. Серія фізична. – 2008. – № 41. – С. 275-282.
Losurdo M., Bergmair M., Bruno G., et. al. Spectroscopic ellypsometry and polarimetry for materials and systems analysis at the nanometer scale: state-of-the-art, potential, and perspectives //J. Nanopart. Res. – 2009. – Vol. 11, № 7. – P. 1521-1554.
Hilfiker J., Hale J., Johs B., Tiwald T., Synowicki R., Bungay C., Woollam J.A. Spectroscopic ellipsometry in optical coatings manufacturing// SVC 44th Annual Technical Conference Proceedings, (Philadelphia). – 2001. – P. 295-300.
Карпуша В.Д., Швец У .С. Взаимосвязь оптических свойств приповерхностных слоев и объемных характеристик аморфных сплавов //ФТТ. – 2007. – Т. 49, №. 3. – С. 465-467.
Клюев В.В., Матвеев В.И. Неразрушающий контроль и диагностика нанотехнологий и наноматериалов//Контроль. Диагностика. – 2007.– № 10. – С. 3-13.
Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. – М.: Мир, 1981. – 548 с.
Беляева А.И., Галуза А.А., Савченко А.А., и др. Влияние бомбардировки ионами дейтерия на морфологию и оптические свойства поверхности рекристаллизированного вольфрама//Уч. зап. Тавр. нац. ун. Сер. ф.-м. н. – 2010. – Т. 23 (62), №. 3. – С. 136-1487.
Published
2017-07-28
How to Cite
Карпуша, В. Д., & Швець, У. С. (2017). Influence of ion bombardment and initial surface roughness on optical characteristics of amorphous metal alloys. Journal of Surface Physics and Engineering, 11(1), 103 - 111. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8855
Section
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
