Growth, structure and optical features of W/MG2Si multilayer X-ray mirrors
Abstract
Transmission electron microscopy and low-angle X-ray diffraction methods are used for investigations of W/Mg2Si multilayers structure. It is shown that due to interlayer interaction mixed zones of tungsten silicide are formed on the Mg2Si-W interface during deposition of W/Mg2Si multilayers. It is found that the composition of the mixed zones depends on thickness of the layers in X-ray mirror. In the W/Mg2Si multilayers with period of 3.1 nm the intermixed zones of tungsten silicide with the predominant content of tungsten namely W3Si and/or W5Si3, can be formed. In the multilayers with a period of 14.2 nm the composition of mixed zones is close to WSi2. Densities of mixed zones in multilayers with periods of 3.1 nm and 14.2 nm are 16.1 g/cm3 and 8.2 g/cm3 respectively. It is shown that reflectivity of the non-optimized in construction W/Mg2Si multilayer at wavelength of 9.89 nm is close to that of optimized W/B4C multilayer.
Downloads
References
Блохин М. А., Швейцер И. Г. Рентгеноспектральный справочник. — М.: «Наука», 1982. — 376 c.
Yongwei Dong. The x-ray timing and polarization satellite — 1, 2, 3: uncovering the mysteries of black holes and extreme physics in the universe // Proc. of SPIE. — 2014. — Vol. 9144. — P. 91443O-1–91443O-7.
David L. Windt. Reduction of stress and roughness by reactive sputtering in W/B4C X-ray multilayer films // Proc. of SPIE. — 2007. — Vol. 6688. — P. 66880R-1–66880R-10.
Kristin K. Madsen, Fiona A. Harrison, Peter H. Mao, Finn E. Christensen, Carsten P. Jensen, Nicolai Brejnholt, Jason Koglin, Michael J. Pivovaroff Optimizations of Pt/SiC and W/ Si multilayers for the Nuclear Spectroscopic Telescope Array // Proc. of SPIE. — 2009. — Vol. 7437. — P. 743716-1–743716-11.
Michaelsen C., Ricardo P., Anders D. Improved graded multilayer mirrors for XRD applications // Adv. X-Ray Anal. — 2000. — Vol. 42. — P. 308–320.
http://cxro.lbl.gov/
Platonov Y ., Kazuaki Shimizu, Hiroshi Kobayashi, Gary Fournier, Jim Rodriguez. Mg2Sibased multilayer XRF analyzers with two- and three-layer structure design // Adv. X-Ray Anal. — 2009. — Vol. 52. — P. 129–134.
Першин Ю. П., Девизенко А. Ю., Мамон В. В., Чумак В. С., Кондратенко В. В. Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления // ЖФИП. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 27–41.
Решетняк Е. Н., Малыхин С. В., Першин Ю. П., Пугачев А. Т. Рентгенографический анализ периодических пленочных композиций W/Si // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 3. — С. 161–167.
Копылец И. А., Кондратенко В. В., Зубарев Е. Н., Рощупкин Д. В. Особенности формирования короткопериодных многослойных композиций W/B4C // ЖТФ. — 2012. — Т. 82, вып. 12. — С. 101–107.
Pierre Boher, Philippe Houdy, Kuhne M., Muller P., Barchewitz R., Delaboudiniere P., David Smith. Tungsten/Magnesium Silicide Multilayers for Soft X-Ray Optics // J. X-ray Sci. Technol. — 1992. — Vol. 3, No. 2. — P. 118–132.
http://sci-progs.com/
Диаграммы состояния двойных металлических систем. Справочник / Под ред. Н. П. Лякишева. — М.: «Машиностроение», 2001, Т. 3, Книга 1. — 872 с.
Конотопский Л. Е., Копылец И. А., Севрюкова В. А., Зубарев Е. Н., Кондратенко В. В. Особенности роста наноразмерных слоев Mg2Si в многослойных рентгеновских зеркалах Si/Mg2Si // J. Nano- Electron. Phys. — 2016. — Т. 8, № 2. — С. 02021-1–02021-6.
Свойства, получение и применение тугоплавких соединений. Справочник / Под ред. Т. Я. Косолаповой. — М: «Металлургия», 1986. — 928 с.
Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС. — М.:«Мир», 1986. — 176 с.
http://www.ukrrentgen.kharkiv.com/
