Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60

Автор(и)

  • М. В. Малеев Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
  • Е. Н. Зубарев Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
  • В. Е. Пуха Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
  • А. Н. Дроздов Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
  • А. С. Вус Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
  • А. Ю. Девизенко Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»

Анотація

Уроботідослідженозакономірностіроступлівокіерозіїповерхніприопроміненнімішенейзвуг­лецюікремніюпучкомприскоренихіонівС60 зенергієювінтервалі 2,5–24 кеВпритемпературімішеней 373 K. Встановлено, щозростаннявуглецевихплівокнаповерхніопромінюютьсякремнієвихмішенейспостерігаєтьсядоенергійіонів 7 кеВ, анаповерхнівуглецюдо 19 кеВ. При енергії іонів вище зазначених значень плівка на поверхні не формується і спостерігається ерозія матеріалу міше­ней. Досліджено структуру та механічні властивості вуглецевих плівок, вирощених в інтервалі енергій іонів фулерену 2,5–11,5кеВ.

Біографії авторів

  • автор М. В. Малеев, афіліація Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС
  • автор Е. Н. Зубарев, афіліація Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС
  • автор В. Е. Пуха, афіліація Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС
  • автор А. Н. Дроздов, афіліація Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС
  • автор А. С. Вус, афіліація Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС
  • автор А. Ю. Девизенко, афіліація Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС

Завантаження

Опубліковано

2015-11-24

Номер

Том 13 № 1 (2015): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60. (2015). Журнал фізики та інженерії поверхні, 13(1), 91-104. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4500

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають