Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60

Authors

  • М. В. Малеев Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
  • Е. Н. Зубарев Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
  • В. Е. Пуха Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
  • А. Н. Дроздов Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
  • А. С. Вус Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
  • А. Ю. Девизенко Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»

Abstract

Уроботідослідженозакономірностіроступлівокіерозіїповерхніприопроміненнімішенейзвуг­лецюікремніюпучкомприскоренихіонівС60 зенергієювінтервалі 2,5–24 кеВпритемпературімішеней 373 K. Встановлено, щозростаннявуглецевихплівокнаповерхніопромінюютьсякремнієвихмішенейспостерігаєтьсядоенергійіонів 7 кеВ, анаповерхнівуглецюдо 19 кеВ. При енергії іонів вище зазначених значень плівка на поверхні не формується і спостерігається ерозія матеріалу міше­ней. Досліджено структуру та механічні властивості вуглецевих плівок, вирощених в інтервалі енергій іонів фулерену 2,5–11,5кеВ.

Author Biographies

  • М. В. Малеев, Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС
  • Е. Н. Зубарев, Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС
  • В. Е. Пуха, Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС
  • А. Н. Дроздов, Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС
  • А. С. Вус, Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС
  • А. Ю. Девизенко, Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    НС

Downloads

Published

2015-11-24

Issue

Vol. 13 No. 1 (2015): Фізична інженерія поверхні

Section

Статті

License

У відповідності з типовим шаблоном.

How to Cite

Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60. (2015). Journal of Surface Physics and Engineering, 13(1), 91-104. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4500

Most read articles by the same author(s)