Зиков, О. В., Харківський національний університет ім. В. Н. Каразіна, Україна
-
Журнал фізики та інженерії поверхні Том 12 № 3 (2014): Фізична інженерія поверхні - Статті
Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
Анотація PDF