Зиков, О. В., Харківський національний університет ім. В. Н. Каразіна, Ukraine
-
Journal of Surface Physics and Engineering Vol. 12 No. 3 (2014): Фізична інженерія поверхні - Статті
Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
Abstract PDF (Українська)