Фаренік, В. І., Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, Україна

• Журнал фізики та інженерії поверхні Том 12 № 3 (2014): Фізична інженерія поверхні - Статті
  Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
  Анотація  PDF