Фаренік, В. І., Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, Ukraine
-
Journal of Surface Physics and Engineering Vol. 12 No. 3 (2014): Фізична інженерія поверхні - Статті
Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
Abstract PDF (Українська)