Програмно-апаратний комплекс для оптимізації транспортувальних властивостей вакуумно-дугових фільтрів

  • Д. С. Аксёнов Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт»
  • И. И. Аксёнов Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт»
  • В. Е. Стрельницкий Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт»
Ключові слова: вакуумна дуга, фільтр, зонд, іонний струм, транспортування плазми

Анотація

В роботі описано модернізацію багатоканального зонда, який сумісно з написаним для його роботи програмним забезпеченням представляє собою сучасний інструмент для налаштування та вивчення транспортувальних властивостей вакуумно-дугових джерел плазми. Вивчено вплив магнітного поля котушок T-подібного фільтра на величину та просторовий розподіл вихідного іонного струму. Встановлено оптимальні величини струмів котушок, які дозволяють суттєво підвищити продуктивність пристрою, що вивчається.

 

Завантаження

Біографії авторів

Д. С. Аксёнов, Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт»
с.н.с.
И. И. Аксёнов, Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт»
с.н.с.
В. Е. Стрельницкий, Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт»
с.н.с.

Посилання

Anders A. Cathodic Arcs: From Fractal Spots to Energetic Condensation. — New York: Springer, 2008. — 542 p.

Anders A., Oks E. M., Yushkov G. Y. et al. Measurements of the total ion flux from vacuum arc cathode spots // IEEE Trans. Plasma Sci. — 2005. — Vol. 33. — P. 1532–1536.

Аксёнов И. И., Андреев А. А., Белоус В. А., Стрельницкий В. Е., Хороших В. М. Вакуумная дуга: источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование. — Киев: Наукова думка, 2012. — 728 с.

Anders A., MacGill R. A. Asymmetric Injection of Cathodic Arc Plasma into a Macroparticle Filter // J. Appl. Phys. — 2004. — Vol. 95. — P. 7602–7606.

Kleiman A., Márquez A., Boxman R. L. Performance of a magnetic island macroparticle filter in a titanium vacuum arc // Plasma Sources Sci. Technol. — 2008. — Vol. 17. —P. 015008-1–7.

Zhitomirsky V. N., Zarchin O., Wang Sh. G. et al. Ion Current Produced by a Vacuum Arc Carbon Plasma Source // IEEE Trans. Plasma Sci. — 2001. — Vol. 29, No. 5. — P. 776–780.

Baranov O., Romanov M., Ostrikov K. Effective control of ion fluxes over large areas by
magnetic fields: From narrow beams to highly uniform fluxes // Physics of Plasmas. — 2009. — Vol. 16. — P. 053505-1–5.

Yukimura K., Muraho T., Ma X., Ikehata T. Ion current distribution on a 200-mm-diameter disk target by titanium cathodic arc plasma-based ion implantation and deposition // Surf. Coat. Technol. — 2004. — Vol. 186. — P. 104–107.

Бизюков Ю. А., Васильев В. В., Лучанинов А. А., Стрельницкий В. Е. Автоматизированная система измерения пространственного распределения плотности ионного тока в потоке плазмы // Сб. тр. Харьковской нанотехнологической ассамблеи. — Харьков: Тонкие плёнки, 2007. — С. 232–235.

Zhitomirsky Y. N., Kinrot U., Alterkop B. Influence of gas pressure on the ion current and its distribution in a filtered vacuum arc deposition system // Surf. Coat. Technol. — 1996. — Vol. 86–87. — P. 263–270.

Aksyonov D. S., Aksenov I. I., Luchaninov A. A. et al. Plasma Streams Mixing in Two-Channel T-Shaped Magnetic Filter // Problems of Atomic Science and Technology. Ser. Vacuum, Pure Materials, Superconductors. — 2011. — No. 6. — P. 116–120.

Aksenov I. I. A vacuum arc in erosion plasma sources. — Kharkiv: NSC KIPT, 2005. — 212 p.
Опубліковано
2017-04-27
Як цитувати
Аксёнов, Д. С., Аксёнов, И. И., & Стрельницкий, В. Е. (2017). Програмно-апаратний комплекс для оптимізації транспортувальних властивостей вакуумно-дугових фільтрів. Журнал фізики та інженерії поверхні, 1(4), 361-372. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8499

Найбільш популярні статті цього автора (авторів)