Calculation of the generator for induction discharge initiation

A. M. Deryzemlia National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine
P. G. Kryshtal National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine
V. I. Radchenko National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine
O. I. Yevsiukov National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine
D. A. Khizhnyak National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine
B. M. Shirokov National Science Center “Kharkov Institute of Physics and Technology” 1 Akademicheskaya St. 61108 Kharkov, Ukraine

Ключові слова: ВЧ генератор, циліндричний індукційний розряд, тетрахлорид кремнію

Анотація

Представлено модернізований ВЧ генератор для збудження індукційного розряду, що працює на частоті 880 кГц в широкій області високочастотних потужностей і тисків газу. Проведено розрахунок резонансних кіл генератора на частоті 880 кГц. Розглянуто залежність дійсної і уявної складової імпедансу розряду від концентрації електронів для циліндричного індукційного розряду.

Завантаження

##plugins.generic.usageStats.noStats##

Посилання

Е.А. Kralkina. Inductive high-frequency low-pressure discharge and possibilities of optimizing the discharge-based plasma sources. Uspekhi Fizicheskikh Nauk, (2008), v.178, No 5, p.519-540 (in Russian),

Colpo P., Meziani T. and Rossi F. Inductively coupled plasmas: Optimizing the inductive-coupling efficiency large area source design. Journal of Vacuum Science and Technology (2005),v. 23, p.270-277.

Tuszewski M. Planar inductively coupled plasmas operated with low and high radio frequencies. IEEE Transactions on Plasma Science. (1999), v. 27, No 1, p.-68-69.

Piejak R.B., Godyak V.A. and Alexandrovich B.M. A Simple analysis of an inductive RF discharge // Plasma Sources Science and Technology. (1992), v.1, p. 179-186.

A.N. Deryzemlia, P.G.Kryshtal, D.G.Malykhin, V.I.Radchenko, B.M.Shirokov. Silicon hydrogen reduction from SiCl4 in the induction HF discharge. Proceedings of the 7th International Symposium on the theoretical and applied plasma chemistry, 2-6 September 2014, Pless, Ivanov region, Russia. (in Russian).