Dudin, Stanislav V., V.N. Karazin Kharkiv National University, Kharkiv, Ukraine, Україна
-
Східно-європейський фізичний журнал № 3 (2023): Східно-європейський фізичний журнал - Статті
Вплив плазмової активації реактивного газу при реактивному магнетронному розпиленні
Анотація pdf (English)