Еволюція морфології поверхні покриттів (Ti-Hf-Si)N за умов термічного впливу
Ключові слова:
вакуумно-дугові покриття, морфологія поверхні, статистичні характеристики рельєфу, термічний вплив.
Анотація
Проаналізовано результати термічного впливу на зразки нанокомпозитного покриття (TiHf-Si)N. Виявлено зниження шорсткості покриття в результаті відпалювання та підвищення твердості до значення 55,7 ГПа. Еволюція морфології покриттів відбувається в результаті зміни структури поверхневих шарів і процесів рекристалізації. Вивчені статистичні характеристики рельєфу поверхні покриттів узгоджуються з експериментальними результатами.
Завантаження
##plugins.generic.usageStats.noStats##
Посилання
Погребняк А. Д., Шпак А. П., Азаренков Н. А., Береснев В. М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий // УФН. — 2009. — Т. 179, № 1. — С. 35–64.
Beresnev V. M., Klimenko S. A., Toryanik I. N., Pogrebnjak A. D., Sobol’ O. V., Turbin P. V., Grankin S. S. Superhard coatings of the (ZrTi-Si)N and (Ti-Hf-Si)N systems produced by vacuum-arc deposition from a separated flow // Journal of Superhard Materials. — 2014. — Vol. 36, No. 1. — P. 29–34.
Зельцер И. А., Карабанов А. С., Моос Е. Н. Образование диссипативных структур в кри с таллах при термо- и электропереносе // ФTT. — 2005. — Т. 47, вып. 11. — С. 1921–1926.
Емельянов В. И., Рухляда Н. Я. Дефектно-индуцированная неустойчивость и об разование поверхностных структур с двумя масштабами при обработке поверхности плазмой // Наукоемкие технологии. — 2009. — Т. 10, № 6. — С. 3–13.
Погребняк А. Д., Шпак А. П., Береснев В. М., Кирик Г. В., Колесников Д. А., Комаров Ф. Ф., Конарский П., Махмудов Н. А., Каверин М. В., Грудницкий В. В. Стехиометрия, фазовый состав и свойства сверхтвердых наноструктурных пленок Ti-Hf-Si-N, полученных с помощью вакуумно-дугового источника в высокочастотном разряде // ПЖТФ. — 2011. — Т. 37, № 13. — С. 90–97.
Beresnev V. M., Klimenko S. A., Toryanik I. N., Pogrebnjak A. D., Sobol’ O. V., Turbin P. V., Grankin S. S. Superhard coatings of the (ZrTi-Si)N and (Ti-Hf-Si)N systems produced by vacuum-arc deposition from a separated flow // Journal of Superhard Materials. — 2014. — Vol. 36, No. 1. — P. 29–34.
Зельцер И. А., Карабанов А. С., Моос Е. Н. Образование диссипативных структур в кри с таллах при термо- и электропереносе // ФTT. — 2005. — Т. 47, вып. 11. — С. 1921–1926.
Емельянов В. И., Рухляда Н. Я. Дефектно-индуцированная неустойчивость и об разование поверхностных структур с двумя масштабами при обработке поверхности плазмой // Наукоемкие технологии. — 2009. — Т. 10, № 6. — С. 3–13.
Погребняк А. Д., Шпак А. П., Береснев В. М., Кирик Г. В., Колесников Д. А., Комаров Ф. Ф., Конарский П., Махмудов Н. А., Каверин М. В., Грудницкий В. В. Стехиометрия, фазовый состав и свойства сверхтвердых наноструктурных пленок Ti-Hf-Si-N, полученных с помощью вакуумно-дугового источника в высокочастотном разряде // ПЖТФ. — 2011. — Т. 37, № 13. — С. 90–97.
Опубліковано
2017-02-24
Як цитувати
Турбин, П. В. (2017). Еволюція морфології поверхні покриттів (Ti-Hf-Si)N за умов термічного впливу. Журнал фізики та інженерії поверхні, 13(3), 399 - 405. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8034
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
