Зыков, А. В., Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина, Ukraine
-
Journal of Surface Physics and Engineering Vol. 13 No. 2 (2015): Фізична інженерія поверхні - Статті
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
Abstract PDF (Українська)