Comparative analysis of different plasma sources for reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals
Keywords:
vacuum-plasma technologies, reactive deposition of coatings, ion-plasma diffusion modification of metal surface
Abstract
Probe measurements of parameters of different technological plasma sources used in vacuum-plasma technologies of reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals have been per formed. A comparative analysis has been done of the magnetron plasma source and vacuum-arc dis charge used during reactive deposition of functional coatings, as well as plasma of glow discharge and dual arc used to clean the surface and ion saturation. Peculiarities of application of different plasma sources for improvement of stability and controllability of deposition of high-quality coatings are discussed.
Downloads
Download data is not yet available.
References
Сагалович О. В. Установка Avinit для нанесен ня багатошарових функціональних покриттів / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов та ін.] // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8. — С. 336—347.
Сагалович А. В. Исследование вакуумплаз менных технологий в создании ТОТЭ на основе цератов бария / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, Ю. Н. Клещев и др.] — Proceedings Int. Symp. SOFC, ed. S. C. Singhal ea, Japan, 1997. — P. 7—17.
Сагалович А. В. Конструкционные материалы с покрытиями для технологического оборудования / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, И. И. Залюбовский и др.] // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. Одесса. — 2001. — Т. 3. — С. 49—52.
Сагалович А. В. Использование методов вакуум-плазменного осаждения покрытий для получения тонкопленочных топливных элементов / А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, Ю. Н. Клещев // Сб. научно-техн. статей. Изд. РФЯЦ — ВНИИТФ, Снежинск, Россия, 2003. — С. 77—87.
Сагалович А. В. Нанотехнологии — промышленные технологии ХХI века / А. В. Сагалович, В. В. Сагалович // Оборудование и инструмент. — 2005. —Т. 6. — С. 46—49.
Сагалович А. В. Разработка многокомпонентных покрытий для повышения износостойкости поверхностей пар трения в прецизионных узлах / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, C. Ф. Дудник и др.] // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3—4. — С. 154—165.
Сагалович А. В. Экспериментальные исследования покрытий типа Avinit / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Авиационно-космическая техника и технология. Технология производства летательных аппаратов. — 2011. — Т. 1. — С. 5—15.
Sagalovych A. The Tribological Investigation of Multicomponent Multilayered Ion-plas ma Coatings Avinit / [A. Sagalovych, V. Sa galovych, V. Popov ea] // Tribology in industry. — 2011. — Vol. 33, No. 1. — Р. 79—86.
Сагалович А. В. Нанесение покрытий на слож нопрофильные прецизионные по верхно сти газофазным методом (CVD) / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Физическая инженерия поверхно сти. — 2011. —Т. 9, № 3. — С. 229—236.
Сагалович О. В. Спосіб нанесення двохкомпонентних хром-алюмінієвих покриттів на внутрішні порожнини охолоджуємих робо чих лопаток газових турбін та Пристрій для нанесення двохкомпонентних хромалю мінієвих покриттів на внутрішні порожнини охолоджуємих робочих лопаток газових турбін / [О. В. Сагалович, В. В. Попов, В. О. Богуслаєв та ін.] // Pat. UА № 101764 від 25. 04. 13, Pat. RU № 011255 от 16. 04. 12.
Sagalovych A. Mo-C multilayered CVD co atings / [A. Sagalovych, V. Sagalovych] // Proc. 13 th Intern. Conf. on Tribology SER BI A TRIB’13. — Kragujevac. — Serbia. — 15— 17 May 2013.
Сагалович О. В. Спосіб іонно-плазмового пре цизійного азотування поверхонь сталей та сплавів Avinit N / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович] // Pat. UА № 84664 від 25. 10. 13.
Сагалович О. В. Багатошарове зносостійке покриття АВІНІТ C320 — ms1 для плоскої золотникової пари / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов, та ін.] // Pat. UA № 86087 від 10. 12. 13.
Сагалович А. В. Износостойкое антифрикционное покрытие деталей пар трения / [А. В. Са галович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Pat. RU № 141213 от 22. 04. 14.
Сагалович О. В. Композиційне покриття для алюмінію або його сплавів / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович] // Pat. UА № 89830 від 25. 04. 14.
Dudin S. V. Devices and techniquie of ex periment. — 1994. — No. 4. — P. 78—82.
McNeely P., Dudin S., Christ-Koch S. and Fantz U., Plasma Sources Sci. Technol., 18, (2009) 014011.
Сагалович А. В. Исследование вакуумплаз менных технологий в создании ТОТЭ на основе цератов бария / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, Ю. Н. Клещев и др.] — Proceedings Int. Symp. SOFC, ed. S. C. Singhal ea, Japan, 1997. — P. 7—17.
Сагалович А. В. Конструкционные материалы с покрытиями для технологического оборудования / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, И. И. Залюбовский и др.] // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. Одесса. — 2001. — Т. 3. — С. 49—52.
Сагалович А. В. Использование методов вакуум-плазменного осаждения покрытий для получения тонкопленочных топливных элементов / А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, Ю. Н. Клещев // Сб. научно-техн. статей. Изд. РФЯЦ — ВНИИТФ, Снежинск, Россия, 2003. — С. 77—87.
Сагалович А. В. Нанотехнологии — промышленные технологии ХХI века / А. В. Сагалович, В. В. Сагалович // Оборудование и инструмент. — 2005. —Т. 6. — С. 46—49.
Сагалович А. В. Разработка многокомпонентных покрытий для повышения износостойкости поверхностей пар трения в прецизионных узлах / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, C. Ф. Дудник и др.] // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3—4. — С. 154—165.
Сагалович А. В. Экспериментальные исследования покрытий типа Avinit / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Авиационно-космическая техника и технология. Технология производства летательных аппаратов. — 2011. — Т. 1. — С. 5—15.
Sagalovych A. The Tribological Investigation of Multicomponent Multilayered Ion-plas ma Coatings Avinit / [A. Sagalovych, V. Sa galovych, V. Popov ea] // Tribology in industry. — 2011. — Vol. 33, No. 1. — Р. 79—86.
Сагалович А. В. Нанесение покрытий на слож нопрофильные прецизионные по верхно сти газофазным методом (CVD) / [А. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Физическая инженерия поверхно сти. — 2011. —Т. 9, № 3. — С. 229—236.
Сагалович О. В. Спосіб нанесення двохкомпонентних хром-алюмінієвих покриттів на внутрішні порожнини охолоджуємих робо чих лопаток газових турбін та Пристрій для нанесення двохкомпонентних хромалю мінієвих покриттів на внутрішні порожнини охолоджуємих робочих лопаток газових турбін / [О. В. Сагалович, В. В. Попов, В. О. Богуслаєв та ін.] // Pat. UА № 101764 від 25. 04. 13, Pat. RU № 011255 от 16. 04. 12.
Sagalovych A. Mo-C multilayered CVD co atings / [A. Sagalovych, V. Sagalovych] // Proc. 13 th Intern. Conf. on Tribology SER BI A TRIB’13. — Kragujevac. — Serbia. — 15— 17 May 2013.
Сагалович О. В. Спосіб іонно-плазмового пре цизійного азотування поверхонь сталей та сплавів Avinit N / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович] // Pat. UА № 84664 від 25. 10. 13.
Сагалович О. В. Багатошарове зносостійке покриття АВІНІТ C320 — ms1 для плоскої золотникової пари / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович, В. В. Попов, та ін.] // Pat. UA № 86087 від 10. 12. 13.
Сагалович А. В. Износостойкое антифрикционное покрытие деталей пар трения / [А. В. Са галович, В. В. Сагалович, В. В. Попов и др.] // Pat. RU № 141213 от 22. 04. 14.
Сагалович О. В. Композиційне покриття для алюмінію або його сплавів / [О. В. Сагалович, В. В. Сагалович] // Pat. UА № 89830 від 25. 04. 14.
Dudin S. V. Devices and techniquie of ex periment. — 1994. — No. 4. — P. 78—82.
McNeely P., Dudin S., Christ-Koch S. and Fantz U., Plasma Sources Sci. Technol., 18, (2009) 014011.
Published
2017-07-05
How to Cite
Сагалович, А. В., Сагалович, В. В., Дудин, С. В., & Фареник, В. И. (2017). Comparative analysis of different plasma sources for reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals. Journal of Surface Physics and Engineering, 12(2), 285-298. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8704
Section
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
