Элементный состав и морфология поверхности (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N наноструктурного покрытия
Abstract
Приведені результати експериментальних досліджень нітридного покриття на основі (Ti-Hf-Zr-V-Nb) N високоентропійного сплаву. Виявлено формування твердого розчину на основі кубічної решітки типу NaCl. Застосування взаємодоповнюючих методик мікроаналізу (RBS, EDS, SIMS і GDMS) дозволило провести як кількісний, так і якісний аналіз хімічного складу.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Погребняк А. Д., Шпак А. П., Азарен¬ковН. А., Береснев В. М. Структура и свой¬ства твёрдых и сверхтвёрдых нанокомпозит¬ных покрытий // УФН. - 2009. - Т. 179, № 1. - С. 35-63.
2. Погребняк А. Д., Пономарев А. Г., Шпак А. П., Куницкий Ю. А. Применение микро- и нано¬зондов для анализа малоразмерных 3D мате¬риалов, наносистем и нанообъектов // УФН. - 2012. - Т. 182, № 3. - С. 287-321.
3. Yeh J. W., Chen Yu. L., Lin S. J., Chen S. High-Entropy Alloys - A New Era of Exploitation // Materials Science Forum. - 2007. - Vol. 560. - P. 1-9.
4. Zhang Y., Zuo T. T., Tang Z., Gao M. C., Dahmen K. A., Liaw P. K., Lu Z. P. Microstructures and properties of high-entropy alloys // Progress in Materials Science. - 2014. - Vol. 61. - P. 1-93.
5. Yeh J.W. Alloy Design Strategies and Future Trends in High-Entropy Alloys // The Journal of The Minerals, Metals & Materials Society. - 2013. - Vol. 65. - P. 1759-1771.
6. Pogrebnjak, A. D., Structure and properties of nanostrutured (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N coatings. Journal of Nanomaterials. - 2013. - Vol. 2013. - P. 1-12.
7. Dolique V., Thomann A.-L., Brault P., TessierY., Gillon P. Complex structure/composition relationship in thin films of AlCoCrCuFeNi high entropy alloy // Materials Chemistry and Physics. - 2009. - Vol. 117, No. 1. - Р. 142-147.
8. Liang S. C., Chang Z. C., Tsai D. C., Lin Y. C., Sung H. S., Deng M. J., Shieu F. S. Effects of substrate temperature on the structure and mechanical properties of (TiVCrZrHf)N coatings // Applied Surface Science. - 2011. - Vol. 257. - P. 7709-7713.
9. Konarski P., Kaczorek K., Ćwil M., Marks J. SIMS and GDMS depth profile analysis of hard coating // Vacuum. - 2008. - Vol. 82. - P. 133-1136.
10. Anischik V. M., Uglov V. V., Zlotski S. V., Konarski P., Cwil M., Ukhov V. A. SIMS investigation of nitride coatings // Vacuum. - 2005. - Vol. 78. - P. 545-550.
11. Шулаев В. М. Андреев А. А., Руденко В. П. Модернизация вакуумно-дуговых устано¬вок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения // ФИП. - 2006. - Т. 4, № 3-4. - С. 136-142.
12. Simnra.com.
13. Азаренков Н. А., Береснев В. М., Погреб¬няк А. Д., Колесников Д. А. Наноструктур¬ные покрытия и наноматериалы: Основы получения. Свойства. Области применения: Особенности современного наноструктур¬ного направления в нанотехнологии. - М.: URSS, 2012. - 368 с.
14. Pogrebnyak A. D., Ponomarev A. G., Kolesnikov D. A., Beresnev V. M., Komarov F. F., Mel’nik S. S., Kaverin M. V. Effect of mass transfer and segregation on the formation of superhard nanostructured Ti-Hf-N(Fe) coatings // Technical Physics Letters. - 2012. - Vol. 38, No. 7. - P. 623-626.
15. Соболь О. В., Погребняк А. Д., Берес¬нев В. М. Влияние условий получения на фазовый состав, структуру и механические характеристики вакуумно-дуговых покры¬тий системы Zr-Ti-Si-N // ФММ. - 2011. - Т. 112, № 2. - С. 199-206.
16. Погребняк А. Д., Соболь О. В., Берес¬нев В. М. Особенности структурного состо¬яния и механических свойств покрытий ZrN и Zr (Ti)-Si-N, полученных ионно-плазмен¬ными методами // Письма в ЖТФ. - 2009. - Т. 35. - С. 103-110.
17. Boxman R. L., Zhitomirsky V. N. Vacuum arc deposition devices // Review of scientific instruments. - 2006. - Vol. 77, 021101. - P. 1-15.
18. Pelleg J., Zevin L. Z., Lungo S. Reactive-sputter-deposited TiN films on glass substrates // Thin Solid Films. - 1197. - Vol. 197. - P. 117-128.
19. Je J. H., Noh D. Y., Kim H. K, Liang K. S. Preferred orientation of TiN films studied by a real time synchrotron x-ray scattering // Journal of Applied Physics. - 1997. - Vol. 81. - P. 6126-6133.
20. Abadias G. Stress and preferred orientation in nitride-based PVD coatings // Surface Coating Technology. - 2008. - Vol. 202. - P. 2223-2235.
21. Patsalas P., Gravalidis C., Logothetidis S. Surface kinetics and subplantation phenomena affecting the texture, morphology, stress, and growth evolution of titanium nitride films // Journal of Applied Physics. - 2004. - Vol. 96. - P. 6234-6246.
22. Pogrebnjak A. D., Shpak A. P., Beresnev V. M., Kolesnikov D. A., Kunitsky Yu. A., SobolO. V., Uglov V. V., Komarov F. F., ShypylenkoA. P., Demyanenko A. A., Baidak V. S., GrudnitskiiV. V. Effect of Thermal Annealing in Va-cuum and Air on Nanograin Sizes in Hard and Superhard Coatings Zr-Ti-Si-N Journal of Nanoscience and Nanotechnology. - 2012. - Vol. 12, No. 12. - P. 9213-9219.
23. Pogrebnjak A. D., Beresnev V. M. Nanocoatings Nanosystems Nanotechnologies, Bentham Sci. Publ., Bentham e books. - 2012. - 158 p.
2. Погребняк А. Д., Пономарев А. Г., Шпак А. П., Куницкий Ю. А. Применение микро- и нано¬зондов для анализа малоразмерных 3D мате¬риалов, наносистем и нанообъектов // УФН. - 2012. - Т. 182, № 3. - С. 287-321.
3. Yeh J. W., Chen Yu. L., Lin S. J., Chen S. High-Entropy Alloys - A New Era of Exploitation // Materials Science Forum. - 2007. - Vol. 560. - P. 1-9.
4. Zhang Y., Zuo T. T., Tang Z., Gao M. C., Dahmen K. A., Liaw P. K., Lu Z. P. Microstructures and properties of high-entropy alloys // Progress in Materials Science. - 2014. - Vol. 61. - P. 1-93.
5. Yeh J.W. Alloy Design Strategies and Future Trends in High-Entropy Alloys // The Journal of The Minerals, Metals & Materials Society. - 2013. - Vol. 65. - P. 1759-1771.
6. Pogrebnjak, A. D., Structure and properties of nanostrutured (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N coatings. Journal of Nanomaterials. - 2013. - Vol. 2013. - P. 1-12.
7. Dolique V., Thomann A.-L., Brault P., TessierY., Gillon P. Complex structure/composition relationship in thin films of AlCoCrCuFeNi high entropy alloy // Materials Chemistry and Physics. - 2009. - Vol. 117, No. 1. - Р. 142-147.
8. Liang S. C., Chang Z. C., Tsai D. C., Lin Y. C., Sung H. S., Deng M. J., Shieu F. S. Effects of substrate temperature on the structure and mechanical properties of (TiVCrZrHf)N coatings // Applied Surface Science. - 2011. - Vol. 257. - P. 7709-7713.
9. Konarski P., Kaczorek K., Ćwil M., Marks J. SIMS and GDMS depth profile analysis of hard coating // Vacuum. - 2008. - Vol. 82. - P. 133-1136.
10. Anischik V. M., Uglov V. V., Zlotski S. V., Konarski P., Cwil M., Ukhov V. A. SIMS investigation of nitride coatings // Vacuum. - 2005. - Vol. 78. - P. 545-550.
11. Шулаев В. М. Андреев А. А., Руденко В. П. Модернизация вакуумно-дуговых устано¬вок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения // ФИП. - 2006. - Т. 4, № 3-4. - С. 136-142.
12. Simnra.com.
13. Азаренков Н. А., Береснев В. М., Погреб¬няк А. Д., Колесников Д. А. Наноструктур¬ные покрытия и наноматериалы: Основы получения. Свойства. Области применения: Особенности современного наноструктур¬ного направления в нанотехнологии. - М.: URSS, 2012. - 368 с.
14. Pogrebnyak A. D., Ponomarev A. G., Kolesnikov D. A., Beresnev V. M., Komarov F. F., Mel’nik S. S., Kaverin M. V. Effect of mass transfer and segregation on the formation of superhard nanostructured Ti-Hf-N(Fe) coatings // Technical Physics Letters. - 2012. - Vol. 38, No. 7. - P. 623-626.
15. Соболь О. В., Погребняк А. Д., Берес¬нев В. М. Влияние условий получения на фазовый состав, структуру и механические характеристики вакуумно-дуговых покры¬тий системы Zr-Ti-Si-N // ФММ. - 2011. - Т. 112, № 2. - С. 199-206.
16. Погребняк А. Д., Соболь О. В., Берес¬нев В. М. Особенности структурного состо¬яния и механических свойств покрытий ZrN и Zr (Ti)-Si-N, полученных ионно-плазмен¬ными методами // Письма в ЖТФ. - 2009. - Т. 35. - С. 103-110.
17. Boxman R. L., Zhitomirsky V. N. Vacuum arc deposition devices // Review of scientific instruments. - 2006. - Vol. 77, 021101. - P. 1-15.
18. Pelleg J., Zevin L. Z., Lungo S. Reactive-sputter-deposited TiN films on glass substrates // Thin Solid Films. - 1197. - Vol. 197. - P. 117-128.
19. Je J. H., Noh D. Y., Kim H. K, Liang K. S. Preferred orientation of TiN films studied by a real time synchrotron x-ray scattering // Journal of Applied Physics. - 1997. - Vol. 81. - P. 6126-6133.
20. Abadias G. Stress and preferred orientation in nitride-based PVD coatings // Surface Coating Technology. - 2008. - Vol. 202. - P. 2223-2235.
21. Patsalas P., Gravalidis C., Logothetidis S. Surface kinetics and subplantation phenomena affecting the texture, morphology, stress, and growth evolution of titanium nitride films // Journal of Applied Physics. - 2004. - Vol. 96. - P. 6234-6246.
22. Pogrebnjak A. D., Shpak A. P., Beresnev V. M., Kolesnikov D. A., Kunitsky Yu. A., SobolO. V., Uglov V. V., Komarov F. F., ShypylenkoA. P., Demyanenko A. A., Baidak V. S., GrudnitskiiV. V. Effect of Thermal Annealing in Va-cuum and Air on Nanograin Sizes in Hard and Superhard Coatings Zr-Ti-Si-N Journal of Nanoscience and Nanotechnology. - 2012. - Vol. 12, No. 12. - P. 9213-9219.
23. Pogrebnjak A. D., Beresnev V. M. Nanocoatings Nanosystems Nanotechnologies, Bentham Sci. Publ., Bentham e books. - 2012. - 158 p.
Published
2015-06-22
How to Cite
Багдасарян, А. А., Конарски, П., & Новиков, В. Ю. (2015). Элементный состав и морфология поверхности (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N наноструктурного покрытия. Journal of Surface Physics and Engineering, 12(3), 446 - 456. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2865
Section
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
