Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N
Abstract
Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерность распределения образующих элементов по глубине покрытия и присутствие примесей, обусловленных методом и средой формирования, а также структурой катода.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Азаренков Н. А., Соболь О. В., Береснев В. М., Погребняк А. Д., Колесников Д. А., Турбин П. В., Торяник И. Н. Вакуумно-плазменные покрытия на основе многокомпонентных нитридов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 8. — С. 1061—1084.
2. Blinkov I. V., Volkhonskii A. O., AnikinV. N., Petrzhik M. I., Derevtsova D. E. Phase composition and properties of wear resistant Ti-Al-Cr-Zr-Nb-N coatings manufactured by the arc-physical deposition method // Inorganic Materials: Applied Research. — 2011. — Vol. 2, No. 3. — P. 261—267.
3. Beresnev V. M., Sobol O. V., Toryanik I. N., Meylekhov A. A., Nyemchenko U. S., Turbin P. V., Yakushchenko I. V., Lisovenko M. O. Formation of Biphasic State in Vacuum-Arc Coatings Obtained by Evaporation of Ti-Al-Zr-Nb-Y Alloy in the Atmosphere of Nitrogen // J. Nano- Electron. Phys. — 2014. Vol. 6, No. 1. — P. 01030.
4. Braic V., Vladescu A., Balaceanu M., Luculescu .R., Braic M. Nanostructured multi-element (TiZrNbHfTa)N and (TiZrNbHfTa)C hard coatings // Surf. Coat. Technol. — 2011. — Vol. 211, 25. — P. 117—121.
5. Hasegawa H., Suzuki T. Effects of second metal contents on microstructure and micro-hardness of ternary nitride films synthesized by cathodic arc method // Surf. Coat. Technol. — 2004. — Vol. 188—189. — P. 234—240.
6. Торяник И. Н., Береснев В. М., Немченко У. С., Колесников Д. А., Турбин П. В., Гранкин С. С., Береснева Е. В., Ганенко В. В. Многоэлементные покрытия (Zr-Ti-Al-Nb-Y)N, полученные вакуумно-дуговым осаждением // ФИП. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 420—426.7. Самсонов Г. В., Виницкий И. М. Тугоплавкие соединения (справочник), 2-е изд. // М.: «Металлугрия», 1976. — 560 с.
2. Blinkov I. V., Volkhonskii A. O., AnikinV. N., Petrzhik M. I., Derevtsova D. E. Phase composition and properties of wear resistant Ti-Al-Cr-Zr-Nb-N coatings manufactured by the arc-physical deposition method // Inorganic Materials: Applied Research. — 2011. — Vol. 2, No. 3. — P. 261—267.
3. Beresnev V. M., Sobol O. V., Toryanik I. N., Meylekhov A. A., Nyemchenko U. S., Turbin P. V., Yakushchenko I. V., Lisovenko M. O. Formation of Biphasic State in Vacuum-Arc Coatings Obtained by Evaporation of Ti-Al-Zr-Nb-Y Alloy in the Atmosphere of Nitrogen // J. Nano- Electron. Phys. — 2014. Vol. 6, No. 1. — P. 01030.
4. Braic V., Vladescu A., Balaceanu M., Luculescu .R., Braic M. Nanostructured multi-element (TiZrNbHfTa)N and (TiZrNbHfTa)C hard coatings // Surf. Coat. Technol. — 2011. — Vol. 211, 25. — P. 117—121.
5. Hasegawa H., Suzuki T. Effects of second metal contents on microstructure and micro-hardness of ternary nitride films synthesized by cathodic arc method // Surf. Coat. Technol. — 2004. — Vol. 188—189. — P. 234—240.
6. Торяник И. Н., Береснев В. М., Немченко У. С., Колесников Д. А., Турбин П. В., Гранкин С. С., Береснева Е. В., Ганенко В. В. Многоэлементные покрытия (Zr-Ti-Al-Nb-Y)N, полученные вакуумно-дуговым осаждением // ФИП. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 420—426.7. Самсонов Г. В., Виницкий И. М. Тугоплавкие соединения (справочник), 2-е изд. // М.: «Металлугрия», 1976. — 560 с.
Published
2015-04-27
How to Cite
Турбин, П. В. (2015). Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N. Journal of Surface Physics and Engineering, 12(4), 556-563. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/1486
Section
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.