Юнаков, М. М., Харківський національний університет ім. В. Н. Каразіна, Україна

• Журнал фізики та інженерії поверхні Том 12 № 3 (2014): Фізична інженерія поверхні - Статті
  Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
  Анотація  PDF