Гурских, А. В., Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, г. Томск, Россия, Російська Федерація

• Журнал фізики та інженерії поверхні Том 13 № 2 (2015): Фізична інженерія поверхні - Статті
  Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
  Анотація  PDF