Коефіцієнти переносу електронів в NF3
Ключові слова:
коефіцієнти переносу електронів, перший коефіцієнт Таунсенда, транспортна частота, характеристична енергіяАнотація
У цій роботі за допомогою коду Bolsig і перерізів пружних і непружних зіткнень електронів з молекулами газу розраховані коефіцієнти переносу електронів в NF3. Був визначений перший коефіцієнт Таунсенда для прямої іонізації молекул NF3 електронним ударом (як повний, так і парціальний для кожного сорту позитивних іонів, що утворюються). Показано, що в процесі іонізації найбільш вірогідна поява позитивних іонів NF2+. Отримано коефіцієнт диссоциативного прилипання і значення наведеного електричного поля, в якому частоти іонізації і прилипання електронів рівні між собою, тобто ефективний коефіцієнт іонізації дорівнює нулю. За допомогою частот пружних і непружних зіткнень розраховані також частка енергії, що втрачається електронами при зіткненнях з молекулами NF3, середня і характеристична енергії електронів, рухливість і дрейфова швидкість електронів. Були також виміряні ВЧ криві запалювання для різних відстаней між електродами і частот ВЧ електричного поля, з координат точок повороту на яких отримані значення дрейфової швидкості електронів в NF3, що задовільно узгоджуються з результатами розрахунків за допомогою коду Bolsig.
Завантаження
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:
- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
