Polozhii, Hlib E., Institute of Applied Physics National Academy of Sciences of Ukraine, Sumy, Ukraine, Україна

• Східно-європейський фізичний журнал № 3 (2021): Східно-європейський фізичний журнал - Статті
  Система керування скануванням пучка для протонної променевої литографії
  Анотація  pdf (English)