Толмачёва, Г. Н., Национальный Научный центр “ХФТИ”, Ukraine
-
Journal of Surface Physics and Engineering Vol. 11 No. 4 (2013): Фізична інженерія поверхні - Статті
Synthesis of TiSiN coatings by simultaneous sputtering of Ti and Si targets in nitrogen-argon plasma
Abstract PDF (Українська)