Influence of accelerating effects of voltage of the pulsed HF generator on the properties of nanocomposite nitride coatings
Keywords:
pulse high-frequency generator, nanocomposite coatings, accelerating voltage
Abstract
In the brief overview on an example of the study of the peculiarities of the formation of nanostructured vacuum-arc nitride coatings, the effect of the pulsed RF generator on the properties of the coatings was analyzed. It is established that the use of a pulsed RF generator influences the improvement of the quality of nanocomposite coatings by optimizing the size of crystallites, helps to reduce the content of the droplet component and improves the properties of the coatings.
Downloads
Download data is not yet available.
References
Гриценко В. И., Береснев В. М., Швец О. М. Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37–44.
Береснев В. М., Толок В. Т., Гриценко В. И., Демьяненко Ю. В, Чунадра А. Г. Получение соединения AlN, Al2O3 из потоков плазмы вакуумной дуги с использованием ВЧ напряжения // Вестник ХНУ, серия «Ядра, частицы, поля». — 2003. — Вып. (22),
№ 601. — С. 101–105.
Падалка В. Г., Гутник Г. Н., Аксенов И. И. и др. Опыт эксплуатации и повышение эффективности использования установок «Булат». Обзор. — М.: ЦНИИатоминформ, 1986. — 56 с.
Андреев А. A., Саблев Л. П., Григорьев С. Н. Вакуумно-дуговые покрытия. — Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. — 317 с.
Береснев В. М., Перлов Д. Л., Федоренко А. И. Экологически безопасные вакуумно-плазменное оборудование и технологии нанесения покрытий. — Харьков: ХИСПИ, 2003. — 292 с.
Beresnev V. M., Gritsenko V. I., Tolok V. T., Shvets O. M. Hight-frequency charged gas plasma activation of material surface in process of coating // Intern. Confеr. Modification of Properties of Surface Layers MPSL-93. — 1993. — Sumy (Ukraine). — Р. 44–45.
Пат. 2363 Украина, МКИ С23 С14/00/. Устройство для нанесения покрытий в вакууме / В. Т. Толок, О. М. Швец, В. Ф. Лымарь, В. М. Береснев, В. И. Гриценко, М. Г. Кривонос. — № 4824783/21. Заявлено 11.05.90; Опубл. 15.07.94. Бюл. № 13. — 10 с.
Береснев В. М., Швец О. М., Беляева Т. Н. Особенности ввода высокочастотной энергии в потоке плазмы // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1–2. — С. 71–73.
Швец О. М., Береснев В. М., Турбин П. В., Грудницкий В. В., Немченко У. С., Колесников Д. А. Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 32–39.
Демиденко И. И., Ломино Н. С., Овчаренко В. Д. и др. О механизме ионизации реакционного газа в вакуумно-дуговом разряде // ЖТФ. — 1984. — Т. 54, вып. 8. —
С. 1534–1538.
Погребняк А. Д., Шпак А. П., Береснев В. М., Кирик Г. В., Колесников Д. А., Комаров Ф. Ф., Конарский П., Махмудов Н. А., Каверин М. В., Грудницкий В. В. Стехиометрия, фазовый состав и свойства сверхтвердых наноструктурных пленок Ti-Hf-Si-N, полученных с помощью вакуумно-дугового источника в высокочастотном разряде // ПЖТФ. — 2011. — Т. 37, № 13. — С. 91–97.
Yushkov G. Yu., Anders A., Oks E. M., Brown I. G. Ion velocities in vacuum arc plasmas // Journal of Applied Physics. — 2000. — Vol. 88, No. 10. — P. 5618–5622.
Береснев В. М., Погребняк А. Д., Соболь О. В., Грудницкий В. В., Маликов Л. В. Получение методом вакуумно-дугового осаждения и исследование структурнофазового состояния пленок (Ti-Hf-Si)N // Материалы 4-ой Международной научной конференции «Физико-химические основы формирования и модификации микро- и наноструктур, ФММН’2010» [6–8 октября, 2010]. — Харьков, Украина. — С. 500–502.
Ho C. Y., Powel R. W., Liley P. E. Thermal Conductivity of the Elements // J. Phys. Chem. Ref. Data. — 1972. — Vol. 1, No. 2. — P. 279– 421.
Anders А. Cathodic Arcs. — New York; Springer Science + Business Media, 2008. — 540 p.
Аксенов И. И. Вакуумная дуга в эрозионных источниках плазмы. — Харьков: ННЦ «ХФТИ», 2005. — 212 с.
Турбин П. В. Эволюция морфологии поверхности покрытий (Ti-Hf-Si)N при термическом воздействии // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 3. — С. 406–412.
Beresnev V. M., Klimenko S. A. Toryanik I. N., Pogrebnjak A. D., Sobol O. V., Turbin P. V., Grankin S. S. Superhard coatings of the (ZrTi-Si)N and (Ti-Hf-Si)N systems produced by vacuum-arc deposition from a separated flow // Journal of Superhard Materials. — 2014. — Vol. 36, No. 1. — P. 29–34.
Grudnitskiy V. V., Beresnev V. M., Drobyshevskaya А. А., Turbin P. V., Toryanik I. N., Grankin S. S., Kolesnikov D. А., Nemchenko U. S. Elemental and phase analysis of nanocomposite coatings on basis Ti-Hf-Si-N system received by the vacuum-arc deposition method // Physical surface engineering. — 2012. — Vol. 10, No. 3. — P. 286–294.
Береснев В. М., Соболь О. В., Погребняк А. Д., Литовченко С. В., Клименко С. А., Столбовой В. А., Сребнюк П. А., Манохин А. С., Ковалёва М. Г., Новиков В. Ю., Мейлехов А. А., Немченко У. С., Бармин А. Е., Турбин П. В. Структура и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий системы TiAlSiY, осажденных в азотной атмосфере // Физика и химия обработки материалов. — 2017, № 2. — С. 34–43.
Sobol’ O. V., Andreev A. A., Grigoriev S. N., Gorban’ V. F., Volosova M. A., Aleshin S. V., Stolbovoi V. A. Effect of high-voltage pulses on the structure and properties of titanium nitride vacuum-arc coatings // Metal Science and Heat Treatment. — 2012. — Vol. 54, No. 3. — P. 195–203.
Береснев В. М., Толок В. Т., Гриценко В. И., Демьяненко Ю. В, Чунадра А. Г. Получение соединения AlN, Al2O3 из потоков плазмы вакуумной дуги с использованием ВЧ напряжения // Вестник ХНУ, серия «Ядра, частицы, поля». — 2003. — Вып. (22),
№ 601. — С. 101–105.
Падалка В. Г., Гутник Г. Н., Аксенов И. И. и др. Опыт эксплуатации и повышение эффективности использования установок «Булат». Обзор. — М.: ЦНИИатоминформ, 1986. — 56 с.
Андреев А. A., Саблев Л. П., Григорьев С. Н. Вакуумно-дуговые покрытия. — Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. — 317 с.
Береснев В. М., Перлов Д. Л., Федоренко А. И. Экологически безопасные вакуумно-плазменное оборудование и технологии нанесения покрытий. — Харьков: ХИСПИ, 2003. — 292 с.
Beresnev V. M., Gritsenko V. I., Tolok V. T., Shvets O. M. Hight-frequency charged gas plasma activation of material surface in process of coating // Intern. Confеr. Modification of Properties of Surface Layers MPSL-93. — 1993. — Sumy (Ukraine). — Р. 44–45.
Пат. 2363 Украина, МКИ С23 С14/00/. Устройство для нанесения покрытий в вакууме / В. Т. Толок, О. М. Швец, В. Ф. Лымарь, В. М. Береснев, В. И. Гриценко, М. Г. Кривонос. — № 4824783/21. Заявлено 11.05.90; Опубл. 15.07.94. Бюл. № 13. — 10 с.
Береснев В. М., Швец О. М., Беляева Т. Н. Особенности ввода высокочастотной энергии в потоке плазмы // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1–2. — С. 71–73.
Швец О. М., Береснев В. М., Турбин П. В., Грудницкий В. В., Немченко У. С., Колесников Д. А. Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 32–39.
Демиденко И. И., Ломино Н. С., Овчаренко В. Д. и др. О механизме ионизации реакционного газа в вакуумно-дуговом разряде // ЖТФ. — 1984. — Т. 54, вып. 8. —
С. 1534–1538.
Погребняк А. Д., Шпак А. П., Береснев В. М., Кирик Г. В., Колесников Д. А., Комаров Ф. Ф., Конарский П., Махмудов Н. А., Каверин М. В., Грудницкий В. В. Стехиометрия, фазовый состав и свойства сверхтвердых наноструктурных пленок Ti-Hf-Si-N, полученных с помощью вакуумно-дугового источника в высокочастотном разряде // ПЖТФ. — 2011. — Т. 37, № 13. — С. 91–97.
Yushkov G. Yu., Anders A., Oks E. M., Brown I. G. Ion velocities in vacuum arc plasmas // Journal of Applied Physics. — 2000. — Vol. 88, No. 10. — P. 5618–5622.
Береснев В. М., Погребняк А. Д., Соболь О. В., Грудницкий В. В., Маликов Л. В. Получение методом вакуумно-дугового осаждения и исследование структурнофазового состояния пленок (Ti-Hf-Si)N // Материалы 4-ой Международной научной конференции «Физико-химические основы формирования и модификации микро- и наноструктур, ФММН’2010» [6–8 октября, 2010]. — Харьков, Украина. — С. 500–502.
Ho C. Y., Powel R. W., Liley P. E. Thermal Conductivity of the Elements // J. Phys. Chem. Ref. Data. — 1972. — Vol. 1, No. 2. — P. 279– 421.
Anders А. Cathodic Arcs. — New York; Springer Science + Business Media, 2008. — 540 p.
Аксенов И. И. Вакуумная дуга в эрозионных источниках плазмы. — Харьков: ННЦ «ХФТИ», 2005. — 212 с.
Турбин П. В. Эволюция морфологии поверхности покрытий (Ti-Hf-Si)N при термическом воздействии // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 3. — С. 406–412.
Beresnev V. M., Klimenko S. A. Toryanik I. N., Pogrebnjak A. D., Sobol O. V., Turbin P. V., Grankin S. S. Superhard coatings of the (ZrTi-Si)N and (Ti-Hf-Si)N systems produced by vacuum-arc deposition from a separated flow // Journal of Superhard Materials. — 2014. — Vol. 36, No. 1. — P. 29–34.
Grudnitskiy V. V., Beresnev V. M., Drobyshevskaya А. А., Turbin P. V., Toryanik I. N., Grankin S. S., Kolesnikov D. А., Nemchenko U. S. Elemental and phase analysis of nanocomposite coatings on basis Ti-Hf-Si-N system received by the vacuum-arc deposition method // Physical surface engineering. — 2012. — Vol. 10, No. 3. — P. 286–294.
Береснев В. М., Соболь О. В., Погребняк А. Д., Литовченко С. В., Клименко С. А., Столбовой В. А., Сребнюк П. А., Манохин А. С., Ковалёва М. Г., Новиков В. Ю., Мейлехов А. А., Немченко У. С., Бармин А. Е., Турбин П. В. Структура и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий системы TiAlSiY, осажденных в азотной атмосфере // Физика и химия обработки материалов. — 2017, № 2. — С. 34–43.
Sobol’ O. V., Andreev A. A., Grigoriev S. N., Gorban’ V. F., Volosova M. A., Aleshin S. V., Stolbovoi V. A. Effect of high-voltage pulses on the structure and properties of titanium nitride vacuum-arc coatings // Metal Science and Heat Treatment. — 2012. — Vol. 54, No. 3. — P. 195–203.
Published
2017-11-14
How to Cite
Турбін, П. В. (2017). Influence of accelerating effects of voltage of the pulsed HF generator on the properties of nanocomposite nitride coatings. Journal of Surface Physics and Engineering, 2(2-3), 86 - 98. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/9571
Section
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
