Effect of implantation by helium ions on the shape of the unit cell in the subsurface layers of GGG single crystals
Keywords:
deformation profile, ion implantation, gadolinium gallium garnet, unit cell
Abstract
The transformation of the crystal lattice in ion-implanted layers of gadolinium gallium garnet single crystals was investigated. It was determined that the deformation of the crystal lattice in the implanted layer as a result of implantation by He+ ions occurs only in the perpendicular to the plane of plates direction, and unit cell reduces its symmetry from cubic to rhombohedral.
Downloads
Download data is not yet available.
References
Kaladzedze L. Influence of Implantation on the Magneto-Optical Properties of Garnet Surface// Trans. Magn. – 2008. – Vol. 44, № 11. – P. 3293-3295.
Townsend P.D., Chandler P.J., Zhang L. Optical effects of ion implantation. – Cambridge: Cambridge University Press, 1994. – 280 p.
Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация.– М.: Наука, 1983. – 320 с.
Ковальчук М.В., Кон В.Г., Лобанович Э.Ф. Измерение малых деформаций в тонких эпитаксиальных пленках кремния методом фотоэлектронной эмиссии, возбужденной стоячей рентгеновской//ФТТ. – 1985. – Т. 27, № 11. – C. 3379-3387.
Vartanyants I.A., Kovalchuk M.V. Theory and applications of x-ray standing waves in real crystals//Rep. Prog. Phys.– 2001. – Vol. 64. – P. 1009.
Nesterets Ya.I., Punegov V.I. The statistical kinematical theory of X-ray diffraction as applied to reciprocal space mapping//Acta Cryst. A. – 2000. – Vol. 56. – P. 540-548.
Kaganer V.M., Koller R., Schmidbauer M. et. al. X-ray diffraction peaks due to misfit dislocations in heteroepitaxial structures//Phys. Rev. B. – 1997. – Vol. 55, № 55. – P. 1793-1810.
Heinke H., Moller M., Hommel D. et. al. Relaxation and mosaicity profiles in epitaxial layers studied by high resolution X-ray diffraction//J. Cryst. Growth. – 1994. – Vol. 135, № 1-2. – P. 41-52.
Єфанов О.М., Кладько В.П., Мачулін В.Ф., Молодкін В.Б. Динамічна дифракція Х-променів у багатошарових структурах. – К.: Наукова думка, 2008. – 220 с.
Хапачев Ю.П., Чуховский Ф.Н. Деформации и напряжения в многослойных эпитаксиальных кристаллических структурах. Рентгенодифракционные методы их опредления// Кристаллография. – 1989. – Т. 34, № 3. – С. 776-800.
Рентгенодифракционная диагностика упругонапряженного состояния наногетероструктур/Под. ред. Б.С. Карамурзова, Ю.П. Хапачева. – Кабардино-Балкарский государственный университет. – Нальчик, 2008. – 205 с.
Fewster P.E. X-ray difraction from low-dimensional structures//Semicоnd. Sci. Technol. – 1993. – Vol. 8. – P. 1915-1934.
Кравець В.І., Пилипів В.М. Моделювання профілів деформації поверхневих шарів монокристалів//Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. Прикладна математика. – 2000. – № 411. – С. 192-196.
Яремій І.П., Кравець В.І., Пилипів В.М., Яремій С.І. Структурна діагностика приповерхневих шарів іонно-імплантованих монокристалів та плівок із структурою гранату//Вісник Прикарпатського університету. Математика. Фізика. – 2007. – Вип. ІІІ. – С. 59-65.
Townsend P.D., Chandler P.J., Zhang L. Optical effects of ion implantation. – Cambridge: Cambridge University Press, 1994. – 280 p.
Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация.– М.: Наука, 1983. – 320 с.
Ковальчук М.В., Кон В.Г., Лобанович Э.Ф. Измерение малых деформаций в тонких эпитаксиальных пленках кремния методом фотоэлектронной эмиссии, возбужденной стоячей рентгеновской//ФТТ. – 1985. – Т. 27, № 11. – C. 3379-3387.
Vartanyants I.A., Kovalchuk M.V. Theory and applications of x-ray standing waves in real crystals//Rep. Prog. Phys.– 2001. – Vol. 64. – P. 1009.
Nesterets Ya.I., Punegov V.I. The statistical kinematical theory of X-ray diffraction as applied to reciprocal space mapping//Acta Cryst. A. – 2000. – Vol. 56. – P. 540-548.
Kaganer V.M., Koller R., Schmidbauer M. et. al. X-ray diffraction peaks due to misfit dislocations in heteroepitaxial structures//Phys. Rev. B. – 1997. – Vol. 55, № 55. – P. 1793-1810.
Heinke H., Moller M., Hommel D. et. al. Relaxation and mosaicity profiles in epitaxial layers studied by high resolution X-ray diffraction//J. Cryst. Growth. – 1994. – Vol. 135, № 1-2. – P. 41-52.
Єфанов О.М., Кладько В.П., Мачулін В.Ф., Молодкін В.Б. Динамічна дифракція Х-променів у багатошарових структурах. – К.: Наукова думка, 2008. – 220 с.
Хапачев Ю.П., Чуховский Ф.Н. Деформации и напряжения в многослойных эпитаксиальных кристаллических структурах. Рентгенодифракционные методы их опредления// Кристаллография. – 1989. – Т. 34, № 3. – С. 776-800.
Рентгенодифракционная диагностика упругонапряженного состояния наногетероструктур/Под. ред. Б.С. Карамурзова, Ю.П. Хапачева. – Кабардино-Балкарский государственный университет. – Нальчик, 2008. – 205 с.
Fewster P.E. X-ray difraction from low-dimensional structures//Semicоnd. Sci. Technol. – 1993. – Vol. 8. – P. 1915-1934.
Кравець В.І., Пилипів В.М. Моделювання профілів деформації поверхневих шарів монокристалів//Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. Прикладна математика. – 2000. – № 411. – С. 192-196.
Яремій І.П., Кравець В.І., Пилипів В.М., Яремій С.І. Структурна діагностика приповерхневих шарів іонно-імплантованих монокристалів та плівок із структурою гранату//Вісник Прикарпатського університету. Математика. Фізика. – 2007. – Вип. ІІІ. – С. 59-65.
Published
2017-07-28
How to Cite
Яремій, І. П., Томин, У. О., Уманців, М. М., & Кравець, В. І. (2017). Effect of implantation by helium ions on the shape of the unit cell in the subsurface layers of GGG single crystals. Journal of Surface Physics and Engineering, 11(2), 237-242. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8779
Section
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
