Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм
Abstract
Методами рентгенівської дифрактометрії досліджено структуру багатошарових періодичних композицій (БПК) ZrC/Mg, отриманих методом магнетронного розпилення на постійному струмі на кремнієвих (001) та (111) і скляних підкладках, у вихідному стані та після термічного відпалу (50–450 °С). Встановлено наявність змішаних зон в БПК ZrC / Mg в початковому стані. Показано, що найкраща збіжність теоретичного та експериментального спектрів малокутової рентгенівської дифракції від БПК ZrC/Mg досягається, якщо в якості змішаної зони використовувати карбід магнію Mg2C3. Термічний відпал до 350 ° С призводить до зростання змішаних зон, за рахунок дифузії вуглецю з шарів ZrC. В результаті термічного відпалу до 400 ° С відбувається кристалізація Mg2C3, внаслідок чого відбувається руйнування періодичності шарів в БПК ZrC/ Mg.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Шестов С. В., Урнов А. М., Кузин С. В., Житник И.А., Богачев С.А. Диагностика электронной плотности плазмы структур солнечной короны по линиям ионов FeIX-FeXIII диапазона 176–207 А в эксперименте СПИРИТ/КОРОНАС-Ф // Письма в Астрономический журнал. — 2009. — Т. 35, № 1. — С. 50–62.
2. Бейгман И. Л., Боженков С. А., Житник И. А., Кузин С. В., Толстихина И. Ю., Урнов А. М. Солнечные спектры крайнего ВУФ диапазона, полученные в ходе эксперимента СПИРИТ на борту ОС КОРОНАС-Ф. Каталог линий в области 280–330 А // Письма в Астрономический журнал. — 2005. — Т. 31, № 1. — C. 39–58.
3. Louis E., Yakshin A. E., Tsarfati T., Bijkerk F. Nanometer interface and materials control for multilayer EUV-optical applications // Progress in Surface Science. — 2011. — Vol. 86. — P. 255–294.
4. Berghmansa D., Hochedeza J. F., Defiseb J. M., Lecatb J. H., Niculaa B., Slemzine V., Lawrencea G., Katsyiannisa A. C., Van der Lindena R., Zhukova A., Clettea F., Rochusb P., Mazyb E., Thibertb T., Nicolosic P., Pelizzoc M-G., Schühled. U. SWAP onboard PROBA 2, a new EUV imager for solar monitoring // Advances in Space Research. — 2006. — Vol. 38, No. 8. — P. 1807–1811.
5. Jingtao Zhu, Sika Zhou, Haochuan Li, Qiushi Huang, ZhanshanWang,Karine Le Guen, Min-Hui Hu, Jean-Michel André, Philippe Jonnard. Comparison of Mg-based multilayers for solar He II radiation at 30: 4nm wavelength // APPLIED OPTICS. — 2010. — Vol. 49, No. 20. — P. 3922–3925.
6. Haochuan Li, Sika Zhou, Qiushi Huang, Moyan Tan. Mg/B4C EUV multilayer by introducing Co as barrier layer // Seventh International Conference on Thin Film Physics and Applications. — 2011. — Vol. 7995. — P. 79951E-1–79951E-4.
7. Jingtao Zhu, Shumin Zhang, Wenjuan Wu, Zhong Zhang, Fengli Wang, Bei Wang, Cunxia Li, Yao Xu, Zhanshan Wang, Lingyan Chen, Hongjun Zhou. Tonglin Huo. SiC/Mg multilayer reflective mirror for He-II radiation at 30.4 nm and its thermal stability // Optoelectron. — 2008. — P. 305–308.
8. Maurya H., Jonnard P., Guen K. Le., Andreґ J.-M., Wang Z., Zhu J., Dong J., Zhang Z. (3), Bridou F., Delmotte F., Hecquet C., Mahne N., Giglia A., and Nannarone S. Thermal cycles, interface chemistry and optical performance of Mg/SiC multilayers // Eur. Phys. J. B. — 2008. — Vol. 64 — P. 193–199.
9. Guen K. Le, Hu M.-H., Andrґe J.-M., and Jonnard P., Zhou S. K., H. Ch. Li, Zhu J. T., and Wang Z. S., Meny C. Development and Interfacial Characterization of Co/Mg Periodic Multilayers for the EUV Range // J. Phys. Chem. C. — 2010. — Vol. 114, No. 14. — P. 6484–6490.
10. Haochuan Li, Sika Zhou, Xiaoqiang Wang, Jingtao Zhu, Zhanshan Wang. Improved thermal stability of Mg/Co multilayer by introducing Zr barrier layer // Proc. of SPIE. — 2012. — Vol. 8501. — P. 85010G-1–85010G-6.
11. Ремпель А. А. Эффекты атомно-вакансионного упорядочения в нестехиометрических карбидах // Успехи физических наук. — 1996. — Т. 166, № 1. — C. 33–62.
12. Ham B., Junkaew A., Arroyave R., Park J., Zhou H.-C., Foley D., Rios S., Wang H., Zhang X. Size and stress dependent hydrogen desorption in metastable Mg hydride films // International journal of hydrogen energy. — 2014. — Vol. 39. — P. 2597–607.
13. Regina Soufli, David L. Windt, Jeff C. Robinson, Sherry L. Baker, Eberhard Spiller, Franklin J. Dollar, Andrew L. Aquila, Eric M. Gullikson, Benjawan Kjornrattanawanich, John F. Seely, Leon Golub De¬velopment and testing of EUV multilayer coatings for the Atmospheric Imaging Assembly instrument aboard the Solar Dynamics Observatory // Proc. of SPIE. — 2005. — Vol. 5901. — P. 59010M-1– 59010M-11.
14. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок / Л. С. Палатник, М. Я. Фукс, В.М. Косевич — Москва: Издательство «Наука», 1972. — 320 с.
2. Бейгман И. Л., Боженков С. А., Житник И. А., Кузин С. В., Толстихина И. Ю., Урнов А. М. Солнечные спектры крайнего ВУФ диапазона, полученные в ходе эксперимента СПИРИТ на борту ОС КОРОНАС-Ф. Каталог линий в области 280–330 А // Письма в Астрономический журнал. — 2005. — Т. 31, № 1. — C. 39–58.
3. Louis E., Yakshin A. E., Tsarfati T., Bijkerk F. Nanometer interface and materials control for multilayer EUV-optical applications // Progress in Surface Science. — 2011. — Vol. 86. — P. 255–294.
4. Berghmansa D., Hochedeza J. F., Defiseb J. M., Lecatb J. H., Niculaa B., Slemzine V., Lawrencea G., Katsyiannisa A. C., Van der Lindena R., Zhukova A., Clettea F., Rochusb P., Mazyb E., Thibertb T., Nicolosic P., Pelizzoc M-G., Schühled. U. SWAP onboard PROBA 2, a new EUV imager for solar monitoring // Advances in Space Research. — 2006. — Vol. 38, No. 8. — P. 1807–1811.
5. Jingtao Zhu, Sika Zhou, Haochuan Li, Qiushi Huang, ZhanshanWang,Karine Le Guen, Min-Hui Hu, Jean-Michel André, Philippe Jonnard. Comparison of Mg-based multilayers for solar He II radiation at 30: 4nm wavelength // APPLIED OPTICS. — 2010. — Vol. 49, No. 20. — P. 3922–3925.
6. Haochuan Li, Sika Zhou, Qiushi Huang, Moyan Tan. Mg/B4C EUV multilayer by introducing Co as barrier layer // Seventh International Conference on Thin Film Physics and Applications. — 2011. — Vol. 7995. — P. 79951E-1–79951E-4.
7. Jingtao Zhu, Shumin Zhang, Wenjuan Wu, Zhong Zhang, Fengli Wang, Bei Wang, Cunxia Li, Yao Xu, Zhanshan Wang, Lingyan Chen, Hongjun Zhou. Tonglin Huo. SiC/Mg multilayer reflective mirror for He-II radiation at 30.4 nm and its thermal stability // Optoelectron. — 2008. — P. 305–308.
8. Maurya H., Jonnard P., Guen K. Le., Andreґ J.-M., Wang Z., Zhu J., Dong J., Zhang Z. (3), Bridou F., Delmotte F., Hecquet C., Mahne N., Giglia A., and Nannarone S. Thermal cycles, interface chemistry and optical performance of Mg/SiC multilayers // Eur. Phys. J. B. — 2008. — Vol. 64 — P. 193–199.
9. Guen K. Le, Hu M.-H., Andrґe J.-M., and Jonnard P., Zhou S. K., H. Ch. Li, Zhu J. T., and Wang Z. S., Meny C. Development and Interfacial Characterization of Co/Mg Periodic Multilayers for the EUV Range // J. Phys. Chem. C. — 2010. — Vol. 114, No. 14. — P. 6484–6490.
10. Haochuan Li, Sika Zhou, Xiaoqiang Wang, Jingtao Zhu, Zhanshan Wang. Improved thermal stability of Mg/Co multilayer by introducing Zr barrier layer // Proc. of SPIE. — 2012. — Vol. 8501. — P. 85010G-1–85010G-6.
11. Ремпель А. А. Эффекты атомно-вакансионного упорядочения в нестехиометрических карбидах // Успехи физических наук. — 1996. — Т. 166, № 1. — C. 33–62.
12. Ham B., Junkaew A., Arroyave R., Park J., Zhou H.-C., Foley D., Rios S., Wang H., Zhang X. Size and stress dependent hydrogen desorption in metastable Mg hydride films // International journal of hydrogen energy. — 2014. — Vol. 39. — P. 2597–607.
13. Regina Soufli, David L. Windt, Jeff C. Robinson, Sherry L. Baker, Eberhard Spiller, Franklin J. Dollar, Andrew L. Aquila, Eric M. Gullikson, Benjawan Kjornrattanawanich, John F. Seely, Leon Golub De¬velopment and testing of EUV multilayer coatings for the Atmospheric Imaging Assembly instrument aboard the Solar Dynamics Observatory // Proc. of SPIE. — 2005. — Vol. 5901. — P. 59010M-1– 59010M-11.
14. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок / Л. С. Палатник, М. Я. Фукс, В.М. Косевич — Москва: Издательство «Наука», 1972. — 320 с.
Published
2015-11-24
How to Cite
Конотопский, Л. Е., Копылец, И. А., & Кондратенко, В. В. (2015). Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм. Journal of Surface Physics and Engineering, 13(1), 24 - 33. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4491
Section
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
