Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа

В. В. Левенец Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ
А. А. Щур Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ
В. Е. Стрельницкий Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ
С. Ф. Дудник Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ

Abstract

Розроблено методику неруйнівного аналізу поверхневих шарів у бінарних зразках у вигляді плівок зі штучних діамантів осаджених на підложку з кремнію методом CVD, на основі реєстрації рентгенівського та γ-випромінювання збуджуваного прискореними протонами. Визначено товщини та профілі концентрації вуглецю у плівках зі штучних діамантів. Досліджено елементний склад діамантових плівок, розподіл фтору по глибині у приповерхневих шарах. Вивчено і виявлено відмінності в ізотопному складі базового компоненту покриття - вуглецю у дослідженних зразках. Зроблено висновки щодо можливості застосування подібних аналітичних методів для вивчення фізичних процесів, пов’язаних із виготовленням штучних діамантів методом CVD та визначення чинників, які впливають на характеристики подібних виробів.

Downloads

Download data is not yet available.

Author Biographies

В. В. Левенец, Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ

С. н. с.

А. А. Щур, Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ

С. н. с.

В. Е. Стрельницкий, Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ

Д. ф.-м. н., професор, завідувач НДЛ

С. Ф. Дудник, Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ

К. ф.-м. н., с. н. с.

References

1. Бондаренко В. Н. Аналитический ядерно- физический комплекс ННЦ ХФТИ «Сокол» (опыт эксплуатации и модернизация) / В. Н. Бондаренко, Л. С. Глазунов, А. В. Гончаров, А. В. Зац, В. В. Кузьменко, В. В. Левенец, А. П. Омельник, В. М. Пистряк, В. И. Сухоставец, А. А. Щур. // Доклад на XVI Международной конференции по электростатическим ускорителям и пучковым технологиям, 6-8 июня 2006 г. Обнинск Россия.

2. Ziegler J. F., Biersack J. P. and Ziegler M. D. // SRIM. - The Stopping and Range of Ions in Matter, New York: Pergamon Press. 2008, - 452 p.