Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
Abstract
Досліджуються плівки діоксиду олова, що отримуються методом магнетронного розпилення на постійному струмі. Наведені результати досліджень зміни фазового складу і електричної провідності плівок оксиду олова, отриманих при температурах осадження (150-350) °С при проведенні подальшого відпалу на повітрі при температурі 500 °С на протязі 1 години. Показано, що кількісний характер зміни електропровідності при відпалі залежить від температури осадження плівок оскільки вона визначає зміст субоксидів, а також співвідношення між аморфною і кристалічною фазою діоксиду олова. Виявлені два конкуруючих термічно активованих структурних процесу, що впливають на технічні параметри активних шарів газових датчиків на основі плівок оксиду олова. Запропоновано конструктивно-технологічне рішення активного шару з високою газочутливістю, відтворюваністю і стабільністю.
Downloads
References
2. Moseley T. S., Tofield B. C. Solid State Gas Sensors. Bristol: Adam Hilger, 1987. - 245 p.
Физико-химические свойства полупроводниковых веществ: Справочник. Под ред. Самсонова А. А. М.: Наука, 1978. - 390 с.
3. Meixner Н., Lampe U. Metal Oxide Sensors // Sensors and Actuators. - 1996. - Vol. B. 33. - P. 198-202.
4. Gopel W., Shierbaum K. D. Sn02 sensors: current status and future prospects // Sensors and Actuators. - 1995. Vol. B 26-27. - P. 1-129.
5. Reactor design for uniform chemikal vapor deposition-grown films without substrare rotation Патент 4649859 США, МКИ H01L21/205. / Wanlass M. (США); Заявлено 19. 02. 85; Опубликовано 17.03.87. - 8 с.
6. Структура и физические свойства твердого тела: Лабораторный практикум / Под редакцией Л. С. Палатника. - К.: Вища школа, 1983 г. - 211 c.
7. Панчеха. П. А. Примесно-размерный фактор формирования структуры тонких металлических пленок // Труды Украинского вакуумного общества Т. 2. Харьков: ННЦ ХФТИ. - 1996. - С. 59-63.
