Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al2O3
Abstract
У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких ємнісних перетворювачів на основі структури ITO/поліімід/Al2O3 загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al2O3.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Патон Б. Є., Троїцький В. О., Посипай¬коЮ. М. Неруйнівний контроль в Україні // Інформ. бюл. Українського товариства неруйнівного контролю та технічної діагностики — 2003. — № 2(18). — С. 5—9.
2. Троицкий В. А. Краткое пособие по контролю качества сварных соединений — К.: ИЭС им. Е. О. Патона, 1997. — 224 с.
3. Білокур І. П. Акустичний контроль — К.: ІЗМН, 1997. — 224 с.
4. Неразрушающий контроль: справочник в 7т. / Под общ. ред. В. В. Клюева. — М.: Ма¬шиностроение, 2005. — 829 с.
5. Карпаш О. М. Неруйнівний контроль та технічна діагностика нафтогазового обладнан¬ня та інструменту // Методи та прилади контролю якості. — 1997. — № 1. — С. 22—24.
6. Уманский Я. С. Рентгенография металлов и полупроводников — М.: Металлургия. — 1969. — 496 с.
7. Батавин В. В., Концевой Ю. А., Федоро¬вич Ю. В. Измерение параметров полупро¬водниковых материалов и структур — М.: Радио и связь, 1985.
2. Троицкий В. А. Краткое пособие по контролю качества сварных соединений — К.: ИЭС им. Е. О. Патона, 1997. — 224 с.
3. Білокур І. П. Акустичний контроль — К.: ІЗМН, 1997. — 224 с.
4. Неразрушающий контроль: справочник в 7т. / Под общ. ред. В. В. Клюева. — М.: Ма¬шиностроение, 2005. — 829 с.
5. Карпаш О. М. Неруйнівний контроль та технічна діагностика нафтогазового обладнан¬ня та інструменту // Методи та прилади контролю якості. — 1997. — № 1. — С. 22—24.
6. Уманский Я. С. Рентгенография металлов и полупроводников — М.: Металлургия. — 1969. — 496 с.
7. Батавин В. В., Концевой Ю. А., Федоро¬вич Ю. В. Измерение параметров полупро¬водниковых материалов и структур — М.: Радио и связь, 1985.
Published
2015-04-27
How to Cite
Зайцева, Л. В., Хрипунов, Г. С., Зайцев, Р. В., & Хрипунова, А. Л. (2015). Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al2O3. Journal of Surface Physics and Engineering, 12(4), 505-509. Retrieved from https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/1479
Section
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.
