Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір

В. И. Грицына; С. Ф. Дудник; К. И. Кошевой; О. А. Опалев; Е. Н. Решетняк; В. Е. Стрельницкий

Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір

Автор(и)

В. И. Грицына Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
С. Ф. Дудник Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
К. И. Кошевой Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
О. А. Опалев Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
Е. Н. Решетняк Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
В. Е. Стрельницкий Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

Ключові слова:

алмазні покриття, легування азотом, наноструктура, питомий опір, склад газової фази

Анотація

Наведено експериментальні результати впливу складу газової фази при синтезі легованих азотом наноструктурних алмазних покриттів у плазмі тліючого розряду на їхній питомий опір. Показано, що за рахунок зміни складу газової фази питомий опір наноструктурных алмазних покриттів можна змінювати по величині більш ніж на 3 порядки.

алмазні покриття; легування азотом; наноструктура; питомий опір; склад газової фази

Біографії авторів

автор В. И. Грицына, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

с.н.с.
автор С. Ф. Дудник, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

с.н.с.
автор К. И. Кошевой, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

с.н.с.
автор О. А. Опалев, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

с.н.с.
автор Е. Н. Решетняк, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

с.н.с.
автор В. Е. Стрельницкий, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

с.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2017-07-28

Номер

Том 11 № 4 (2013): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(4), 338-344. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8861

Завантажити посилання

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають

В. В. Левенец, А. А. Щур, В. Е. Стрельницкий, С. Ф. Дудник, Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 12 № 3 (2014): Фізична інженерія поверхні
В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Г. Н. Толмачева, Г. А. Прибытков, А. В. Гурских, М. Г. Криницын, Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 13 № 2 (2015): Фізична інженерія поверхні
В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Г. Н. Толмачева, Г. А. Прибытков, В. В. Коржова, Структура і властивості нітридних покриттів, осаджених з фільтрованої вакуумно-дугової плазми із застосуванням порошкового катоду Cr0,5Al0,5 , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 1 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
А. И. Калиниченко, С. С. Перепёлкин, В. Е. Стрельницкий, Вплив кута падіння пучка іонів на внутрішні напруження в осаджуваному покритті , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 4 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
Д. С. Аксёнов, И. И. Аксёнов, В. Е. Стрельницкий, Програмно-апаратний комплекс для оптимізації транспортувальних властивостей вакуумно-дугових фільтрів , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 4 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Рентгенографічне дослідження структури і напруженого стану TiN покриттів, осаджених з фільтрованої вакуумно-дугової плазми у газовій суміші N2 та Ar , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 4 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
Ю. Я. Волков, В. Е. Стрельницкий, В. А. Ушаков, Синтез алмазу у НВЧ плазмі: обладнання, плівки, застосування , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 11 № 1 (2013): Фізична інженерія поверхні
В. И. Грицына, С. Ф. Дудник, К. И. Кошевой, О. А. Опалев, В. Е. Стрельницкий, Отримання високоякісних алмазних покриттів методами активованого газофазного осадження , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 11 № 1 (2013): Фізична інженерія поверхні
Е. Н. Решетняк, Особливості використання рентгенівського флуоресцентного аналізу для визначення складу вакуумно-дугових покриттів нітридів , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 11 № 4 (2013): Фізична інженерія поверхні
В. И. Грицына, С. Ф. Дудник, К. И. Кошевой, О. А. Опалев, В. Е. Стрельницкий, Вплив складу газової фази і струму нагріваючого разряду на кінетику зростання легованних азотом наноструктурних алмазних покриттів , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 10 № 4 (2012): Фізична інженерія поверхні

1 2 > >>

Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір

Автор(и)

Ключові слова:

Анотація

Біографії авторів

Завантаження

Опубліковано

Номер

Розділ

Ліцензія

Як цитувати

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають

Зробити подання

Інформація