Отримання високоякісних алмазних покриттів методами активованого газофазного осадження

В. И. Грицына; С. Ф. Дудник; К. И. Кошевой; О. А. Опалев; В. Е. Стрельницкий

Отримання високоякісних алмазних покриттів методами активованого газофазного осадження

Автор(и)

В. И. Грицына Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
С. Ф. Дудник Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
К. И. Кошевой Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
О. А. Опалев Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
В. Е. Стрельницкий Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

Ключові слова:

алмазні покриття, метод хімічного газофазного осадження, швидкість росту покриття, дефектність покриття

Анотація

Проведено літературний огляд деяких особливостей та загальних закономірностей процесу отримання алмазних покриттів хімічним газофазним осадженням. Наведено теоретичні й експериментальні результати досліджень, що присвячені питанню отримання високоякісних алмазних покриттів з великою швидкістю росту. На підставі аналізу наведених даних визначені найбільш перспективні напрямки подальших досліджень при розробці процесів виробництва високоякісних алмазних матеріалів.

Біографії авторів

автор В. И. Грицына, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

с.н.с.
автор С. Ф. Дудник, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

с.н.с.
автор К. И. Кошевой, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

с.н.с.
автор О. А. Опалев, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

с.н.с.
автор В. Е. Стрельницкий, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

с.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2017-07-28

Номер

Том 11 № 1 (2013): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Отримання високоякісних алмазних покриттів методами активованого газофазного осадження. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(1), 63-77. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8786

Завантажити посилання

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають

В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Рентгенографічне дослідження структури і напруженого стану TiN покриттів, осаджених з фільтрованої вакуумно-дугової плазми у газовій суміші N2 та Ar , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 4 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
В. И. Грицына, С. Ф. Дудник, К. И. Кошевой, О. А. Опалев, В. Е. Стрельницкий, Вплив складу газової фази і струму нагріваючого разряду на кінетику зростання легованних азотом наноструктурних алмазних покриттів , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 10 № 4 (2012): Фізична інженерія поверхні
И. И. Выровец, В. И. Грицына, С. Ф. Дудник, О. А. Опалев, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Нанокристалічні алмазні cvd-плівки: структура, властивості і перспективи застосування , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 8 № 1 (2010): Фізична інженерія поверхні
В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Г. Н. Толмачева, Г. А. Прибытков, В. В. Коржова, Структура і властивості нітридних покриттів, осаджених з фільтрованої вакуумно-дугової плазми із застосуванням порошкового катоду Cr0,5Al0,5 , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 1 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
В. В. Левенец, А. А. Щур, В. Е. Стрельницкий, С. Ф. Дудник, Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 12 № 3 (2014): Фізична інженерія поверхні
В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Г. Н. Толмачева, Г. А. Прибытков, А. В. Гурских, М. Г. Криницын, Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 13 № 2 (2015): Фізична інженерія поверхні
А. И. Калиниченко, С. С. Перепёлкин, В. Е. Стрельницкий, Вплив кута падіння пучка іонів на внутрішні напруження в осаджуваному покритті , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 4 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
Д. С. Аксёнов, И. И. Аксёнов, В. Е. Стрельницкий, Програмно-апаратний комплекс для оптимізації транспортувальних властивостей вакуумно-дугових фільтрів , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 4 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
Ю. Я. Волков, В. Е. Стрельницкий, В. А. Ушаков, Синтез алмазу у НВЧ плазмі: обладнання, плівки, застосування , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 11 № 1 (2013): Фізична інженерія поверхні
В. И. Грицына, С. Ф. Дудник, К. И. Кошевой, О. А. Опалев, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 11 № 4 (2013): Фізична інженерія поверхні

Отримання високоякісних алмазних покриттів методами активованого газофазного осадження

Автор(и)

Ключові слова:

Анотація

Біографії авторів

Завантаження

Опубліковано

Номер

Розділ

Ліцензія

Як цитувати

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають

Зробити подання

Інформація