Синтез алмазу у НВЧ плазмі: обладнання, плівки, застосування
Ключові слова:
алмаз, плівки, CVD синтез, монокристалічний, полікристалічнийАнотація
Виконано короткий огляд розвитку робіт з синтезу алмазних покрить із плазми газового розряду в НВЧ пристроях (метод MW CVD – microwave plasma chemical vapor deposition). Розглянуті існуючі НВЧ пристрої для алмазного синтезу, а також методи комп’ютерного моделювання нових пристроїв і процесів, які відбуваються в них. Описані деякі методи гомоепітаксіального нарощування монокристалічного алмазу на алмазних підкладках. Також наведені приклади отримання полікристалічних і наноструктурних алмазних плівок на неалмазних підкладках методом гетероепітаксіального зростання і розглянуто залежність особливостей структури плівок від складу вихідної газової суміші та умов осадження в НВЧ реакторах. Розглянуто приклади отримання високоорієнтованих полікристалічних алмазних плівок (HOD – highly oriented diamond), які за багатьма властивостями близькі до монокристалів алмазу і показані деякі приклади практичного застосування синтезованих алмазних плівок.
