Вплив складу газової фази і струму нагріваючого разряду на кінетику зростання легованних азотом наноструктурних алмазних покриттів

В. И. Грицына; С. Ф. Дудник; К. И. Кошевой; О. А. Опалев; В. Е. Стрельницкий

Вплив складу газової фази і струму нагріваючого разряду на кінетику зростання легованних азотом наноструктурних алмазних покриттів

Автор(и)

В. И. Грицына Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
С. Ф. Дудник Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
К. И. Кошевой Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
О. А. Опалев Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
В. Е. Стрельницкий Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

Ключові слова:

алмазні покриття, легування азотом, наноструктура, кінетика росту, струм розряду, склад газової фази

Анотація

Наведено експериментальні результати дослідження впливу величини струму розряду і складу газової фази з відносно низьким вмістом аргону на кінетику процесу синтезу у плазмі тліючого розряду легованих азотом наноструктурних алмазних покриттів. Показано, що при введенні азоту в газову фазу за рахунок відповідного зменшення концентрації водню швидкість росту наноструктурних алмазних покриттів може як зростати, так і зменшуватися в залежності від співвідношення концентрацій компонент газової фази. Проведено аналіз і порівняння отриманих експериментальних даних з наявними літературними даними по впливу на кінетику процесу синтезу алмазних покриттів складу газової фази, потужності розряду (температури).

Біографії авторів

автор В. И. Грицына, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

c.н.с.
автор С. Ф. Дудник, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

c.н.с.
автор К. И. Кошевой, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

c.н.с.
автор О. А. Опалев, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

c.н.с.
автор В. Е. Стрельницкий, афіліація Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

c.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2012-10-29

Номер

Том 10 № 4 (2012): Фізична інженерія поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Вплив складу газової фази і струму нагріваючого разряду на кінетику зростання легованних азотом наноструктурних алмазних покриттів. (2012). Журнал фізики та інженерії поверхні, 10(4), 328-335. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/10072

Завантажити посилання

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають

В. В. Левенец, А. А. Щур, В. Е. Стрельницкий, С. Ф. Дудник, Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 12 № 3 (2014): Фізична інженерія поверхні
В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Г. Н. Толмачева, Г. А. Прибытков, А. В. Гурских, М. Г. Криницын, Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 13 № 2 (2015): Фізична інженерія поверхні
В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Г. Н. Толмачева, Г. А. Прибытков, В. В. Коржова, Структура і властивості нітридних покриттів, осаджених з фільтрованої вакуумно-дугової плазми із застосуванням порошкового катоду Cr0,5Al0,5 , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 1 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
А. И. Калиниченко, С. С. Перепёлкин, В. Е. Стрельницкий, Вплив кута падіння пучка іонів на внутрішні напруження в осаджуваному покритті , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 4 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
Д. С. Аксёнов, И. И. Аксёнов, В. Е. Стрельницкий, Програмно-апаратний комплекс для оптимізації транспортувальних властивостей вакуумно-дугових фільтрів , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 4 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Рентгенографічне дослідження структури і напруженого стану TiN покриттів, осаджених з фільтрованої вакуумно-дугової плазми у газовій суміші N2 та Ar , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 1 № 4 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні
Ю. Я. Волков, В. Е. Стрельницкий, В. А. Ушаков, Синтез алмазу у НВЧ плазмі: обладнання, плівки, застосування , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 11 № 1 (2013): Фізична інженерія поверхні
В. И. Грицына, С. Ф. Дудник, К. И. Кошевой, О. А. Опалев, В. Е. Стрельницкий, Отримання високоякісних алмазних покриттів методами активованого газофазного осадження , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 11 № 1 (2013): Фізична інженерія поверхні
В. И. Грицына, С. Ф. Дудник, К. И. Кошевой, О. А. Опалев, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Вплив складу газової фази при синтезі наноструктурних алмазних покриттів на їх питомий опір , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 11 № 4 (2013): Фізична інженерія поверхні
И. И. Выровец, В. И. Грицына, С. Ф. Дудник, О. А. Опалев, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Нанокристалічні алмазні cvd-плівки: структура, властивості і перспективи застосування , Журнал фізики та інженерії поверхні: Том 8 № 1 (2010): Фізична інженерія поверхні

Вплив складу газової фази і струму нагріваючого разряду на кінетику зростання легованних азотом наноструктурних алмазних покриттів

Автор(и)

Ключові слова:

Анотація

Біографії авторів

Завантаження

Опубліковано

Номер

Розділ

Ліцензія

Як цитувати

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають

Зробити подання

Інформація