Перепёлкин, С. С., Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт», Україна
-
Журнал фізики та інженерії поверхні Том 1 № 4 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні - Статті
Вплив кута падіння пучка іонів на внутрішні напруження в осаджуваному покритті
Анотація PDF