Пятайкина, М. И., Харьковский национальный университет радиоэлектроники, Україна
-
Журнал фізики та інженерії поверхні Том 13 № 2 (2015): Фізична інженерія поверхні - Статті
СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники
Анотація PDF