Колодий, И. В., Национальный Научный центр “ХФТИ”, Україна
-
Журнал фізики та інженерії поверхні Том 11 № 4 (2013): Фізична інженерія поверхні - Статті
Синтез TiSiN покриттів при одночасному розпиленні мішеней з Tі та Si в азот-аргоновій плазмі
Анотація PDF