Фареник, В. И., Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, Харьков, Україна
-
Журнал фізики та інженерії поверхні Том 2 № 2-3 (2017): Журнал фізики та інженерії поверхні - Статті
Аналіз умов синтезу надтвердих плівок дибориду танталу у магнетронних розпилювальних системах
Анотація PDF