Фаренік, В. І., Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна, Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, Харків, Україна
-
Журнал фізики та інженерії поверхні Том 2 № 2-3 (2017): Журнал фізики та інженерії поверхні - Статті
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
Анотація PDF